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MEMS双光纤位移声传感器设计与分析

李晓龙 王江安 吴亚明

李晓龙, 王江安, 吴亚明. MEMS双光纤位移声传感器设计与分析[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(9): 2505-2509.
引用本文: 李晓龙, 王江安, 吴亚明. MEMS双光纤位移声传感器设计与分析[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(9): 2505-2509.
Li Xiaolong, Wang Jiangan, Wu Yaming. Design and analysis of the MEMS dual fiber optic displacement acoustic sensor[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(9): 2505-2509.
Citation: Li Xiaolong, Wang Jiangan, Wu Yaming. Design and analysis of the MEMS dual fiber optic displacement acoustic sensor[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(9): 2505-2509.

MEMS双光纤位移声传感器设计与分析

基金项目: 

国家自然科学基金(51109217)

详细信息
    作者简介:

    李晓龙(1985-),男,博士,主要从事水下声光通信方面的研究。Email:lxl_3515@126.com

  • 中图分类号: TN918.11

Design and analysis of the MEMS dual fiber optic displacement acoustic sensor

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出版历程
  • 收稿日期:  2013-01-05
  • 修回日期:  2013-02-15
  • 刊出日期:  2013-09-25

MEMS双光纤位移声传感器设计与分析

    作者简介:

    李晓龙(1985-),男,博士,主要从事水下声光通信方面的研究。Email:lxl_3515@126.com

基金项目:

国家自然科学基金(51109217)

  • 中图分类号: TN918.11

摘要: 提出了一种新型强度调制型光纤传感器的理论模型。该模型使用单模光纤,讨论了光在准直透镜中的传播规律,利用光学透镜的准直作用,即矩阵光学原理和高斯耦合理论实现光强调制。强度型光纤传感器采用微电机系统MEMS结构的压力振动膜片拾取振动位移,通过分析施加在膜片上压力的变化及膜片尺寸得到影响双光纤位移传感器灵敏度的相关参数。仿真结果表明:合理的选择参数可以使传感器的灵敏度在不增加结构复杂性的前提下较传统方法有103量级的提高。

English Abstract

参考文献 (19)

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