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基底均匀掺杂下EBAPS电荷收集效率的模拟研究

宋德 石峰 李野

宋德, 石峰, 李野. 基底均匀掺杂下EBAPS电荷收集效率的模拟研究[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(2): 203002-0203002(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0203002
引用本文: 宋德, 石峰, 李野. 基底均匀掺杂下EBAPS电荷收集效率的模拟研究[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(2): 203002-0203002(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0203002
Song De, Shi Feng, Li Ye. Simulation of charge collection efficiency for EBAPS with uniformly doped substrate[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(2): 203002-0203002(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0203002
Citation: Song De, Shi Feng, Li Ye. Simulation of charge collection efficiency for EBAPS with uniformly doped substrate[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(2): 203002-0203002(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0203002

基底均匀掺杂下EBAPS电荷收集效率的模拟研究

doi: 10.3788/IRLA201645.0203002
基金项目: 

高等学校博士学科点专项科研基金(20112216120008);吉林省科技厅重大科技攻关项目(2014020318GX)

详细信息
    作者简介:

    宋德(1981-),男,博士,主要从事微光成像技术方面的研究。Email:songde614@163.com

  • 中图分类号: TN223

Simulation of charge collection efficiency for EBAPS with uniformly doped substrate

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出版历程
  • 收稿日期:  2015-11-05
  • 修回日期:  2015-12-14
  • 刊出日期:  2016-02-25

基底均匀掺杂下EBAPS电荷收集效率的模拟研究

doi: 10.3788/IRLA201645.0203002
    作者简介:

    宋德(1981-),男,博士,主要从事微光成像技术方面的研究。Email:songde614@163.com

基金项目:

高等学校博士学科点专项科研基金(20112216120008);吉林省科技厅重大科技攻关项目(2014020318GX)

  • 中图分类号: TN223

摘要: 对P型基底均匀掺杂的情况下电子轰击有源像素传感器(EBAPS)的电荷收集效率进行了理论模拟研究,依据低能电子与固体的相互作用模型结合Monte-Carlo计算方法模拟了光电子入射到死层和倍增层中的运动轨迹,并分析了经过死层后的能量损失率所受影响因素;依据半导体理论研究了P型基底掺杂浓度、膜厚、入射电子能量对电荷收集效率的影响因素。最终获得的电荷收集效率理论模拟结果与已报道的(4 keV,均匀掺杂的EPAPS)实测的结果较为相符,表明此文的模拟结果可以为高增益的EBAPS的制作提供理论指导。

English Abstract

参考文献 (13)

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