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基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备

李以贵 颜平 黄远 杉山进

李以贵, 颜平, 黄远, 杉山进. 基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(6): 620001-0620001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0620001
引用本文: 李以贵, 颜平, 黄远, 杉山进. 基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(6): 620001-0620001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0620001
Li Yigui, Yan Ping, Huang Yuan, Sugiyama Susumu. Fabrication of PMMA micro lens array based on X-ray moving lithography[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(6): 620001-0620001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0620001
Citation: Li Yigui, Yan Ping, Huang Yuan, Sugiyama Susumu. Fabrication of PMMA micro lens array based on X-ray moving lithography[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(6): 620001-0620001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0620001

基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备

doi: 10.3788/IRLA201645.0620001
基金项目: 

国家自然科学基金(51035005);上海应用技术学院光电精密检测平台建设项目(10210Q140005);上海应用技术学院引进人才启动基金(YJ2014-03)

详细信息
    作者简介:

    李以贵(1965-),男,教授,博士生导师,博士,主要从事微光机电系统、微光学元器件制备工艺等方面的研究。Email:ygli@sit.edu.cn

  • 中图分类号: TN256;TN305.7

Fabrication of PMMA micro lens array based on X-ray moving lithography

  • 摘要: 微透镜阵列的制备已经成为微光学领域的研究热点。利用两次X光移动光刻技术,以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为正光刻胶,在PMMA基板上制造了微透镜阵列,并对其制作原理进行了详细说明。设计了制备微透镜阵列用的掩膜图形,并通过掩膜图形模拟仿真,预测了微透镜在两次移动曝光显影后的形状。第一次X光移动光刻后,理论上会得到半圆柱状三维结构;第一次光刻后将掩膜板旋转90,进行第二次移动曝光光刻,最终在PMMA基板上制备了面积为10 mm10 mm的3030个微透镜阵列,阵列中每个微透镜的直径约248m、厚度约82m。同时也研究了X光曝光量与PMMA刻蚀深度之间的关系。微透镜阵列形貌测试表明此种制备微透镜阵列的新方法是可行的。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-10-11
  • 修回日期:  2015-11-27
  • 刊出日期:  2016-06-25

基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备

doi: 10.3788/IRLA201645.0620001
    作者简介:

    李以贵(1965-),男,教授,博士生导师,博士,主要从事微光机电系统、微光学元器件制备工艺等方面的研究。Email:ygli@sit.edu.cn

基金项目:

国家自然科学基金(51035005);上海应用技术学院光电精密检测平台建设项目(10210Q140005);上海应用技术学院引进人才启动基金(YJ2014-03)

  • 中图分类号: TN256;TN305.7

摘要: 微透镜阵列的制备已经成为微光学领域的研究热点。利用两次X光移动光刻技术,以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为正光刻胶,在PMMA基板上制造了微透镜阵列,并对其制作原理进行了详细说明。设计了制备微透镜阵列用的掩膜图形,并通过掩膜图形模拟仿真,预测了微透镜在两次移动曝光显影后的形状。第一次X光移动光刻后,理论上会得到半圆柱状三维结构;第一次光刻后将掩膜板旋转90,进行第二次移动曝光光刻,最终在PMMA基板上制备了面积为10 mm10 mm的3030个微透镜阵列,阵列中每个微透镜的直径约248m、厚度约82m。同时也研究了X光曝光量与PMMA刻蚀深度之间的关系。微透镜阵列形貌测试表明此种制备微透镜阵列的新方法是可行的。

English Abstract

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