离轴三反系统计算机辅助装调

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离轴三反系统计算机辅助装调

王彬, 伍凡, 叶玉堂

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王彬, 伍凡, 叶玉堂. 离轴三反系统计算机辅助装调[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(11): 1118006-1118006(7). doi: 10.3788/IRLA201645.1118006

引用本文:

王彬, 伍凡, 叶玉堂. 离轴三反系统计算机辅助装调[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(11): 1118006-1118006(7). doi: 10.3788/IRLA201645.1118006

Wang Bin, Wu Fan, Ye Yutang. Computer aided alignment for of-axis TMA system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(11): 1118006-1118006(7). doi: 10.3788/IRLA201645.1118006

Citation:

Wang Bin, Wu Fan, Ye Yutang. Computer aided alignment for of-axis TMA system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(11): 1118006-1118006(7). doi: 10.3788/IRLA201645.1118006

离轴三反系统计算机辅助装调

doi: 10.3788/IRLA201645.1118006

王彬^1,2,
伍凡¹,
叶玉堂²

1.
中国科学院光电技术研究所,四川成都 610209;
2.
电子科技大学光电信息学院,四川成都 610054

基金项目:

国家自然科学基金（61178043）

作者简介:
王彬(1979-),男,高级工程师,博士生,主要从事光学检测及装调等方面的研究。Email:wangbin-79@163.com

中图分类号: V248.3

Computer aided alignment for of-axis TMA system

1.
Institute of Optics and Electronics,Chinese Academy of Sciences,Chengdu 610209,China;
2.
School of Optoelectronic Information,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054,China

摘要: 为实现对离轴三反系统快速、有效的装调，提出了一种离轴三反系统计算机辅助装调（CAA）方法。该方法在理论分析失调后离轴三反系统像差特性的基础上，结合CAA技术及光学装调的实际情况，选择出最少且最合理的调整量；根据检测数据及CAA数学模型直接计算出调整量的大小及方向。采用该方法对一离轴三反系统进行实际装调，将调整量从11个减少到7个，利用波前传感器被动式检测方法对离轴三反系统0及1视场像质进行检测，通过一次计算调整快速使该系统全视场波像差从RMS0.32减少至RMS0.067（=632.8 nm），结果表明该装调方法简单、有效。
- 计算机辅助装调 /
- 离轴三反系统 /
- 失调特性 /
- Zernike多项式
Abstract: To realize the fast, efficient alignment of of-axis thre-mirror anastigmatic (TMA) system, a computer aided alignment (CAA) method was proposed. First, the aberration characteristics in the misaligned of-axis TMA system was theoretically analyzed to determine the evaluation parameters in CAA. Second, the key alignment parameters to be adjusted were given by combining the misalignment characteristics with the actual situation of the optical assembly. Finally, the magnitudes and orientation of the alignment parameters were calculated with the measurement data and CAA model. In order to verify the method, an of-axis TMA system was aligned according to this CAA method. The wav-front error (WFE) of the center and extreme edge FOVs were measured by wav-front sensor. After only once calculation and alignment, the measured root mean square (RMS) WFEs were reduced from 0.32 to 0.067(=632.8 nm). The experiment results demonstrate that this CAA method is feasible.
- computer aided alignment /
- of-axis TMA system /
- misalignment characteristics /
- Zernike polynomial coefficient

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离轴三反系统计算机辅助装调

doi: 10.3788/IRLA201645.1118006

1. 中国科学院光电技术研究所,四川成都 610209;

2. 电子科技大学光电信息学院,四川成都 610054

作者简介:
王彬(1979-),男,高级工程师,博士生,主要从事光学检测及装调等方面的研究。Email:wangbin-79@163.com

收稿日期: 2016-03-10
修回日期: 2016-04-11
刊出日期: 2016-11-25

基金项目:

国家自然科学基金（61178043）

中图分类号: V248.3

关键词:

摘要: 为实现对离轴三反系统快速、有效的装调，提出了一种离轴三反系统计算机辅助装调（CAA）方法。该方法在理论分析失调后离轴三反系统像差特性的基础上，结合CAA技术及光学装调的实际情况，选择出最少且最合理的调整量；根据检测数据及CAA数学模型直接计算出调整量的大小及方向。采用该方法对一离轴三反系统进行实际装调，将调整量从11个减少到7个，利用波前传感器被动式检测方法对离轴三反系统0及1视场像质进行检测，通过一次计算调整快速使该系统全视场波像差从RMS0.32减少至RMS0.067（=632.8 nm），结果表明该装调方法简单、有效。

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