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光学显微三维测量解耦合准则

刘俭 谷康 李梦周 谭久彬

刘俭, 谷康, 李梦周, 谭久彬. 光学显微三维测量解耦合准则[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(3): 302001-0302001(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0302001
引用本文: 刘俭, 谷康, 李梦周, 谭久彬. 光学显微三维测量解耦合准则[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(3): 302001-0302001(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0302001
Liu Jian, Gu Kang, Li Mengzhou, Tan Jiubin. 3D measurement decoupling criterion in optical microscopy[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(3): 302001-0302001(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0302001
Citation: Liu Jian, Gu Kang, Li Mengzhou, Tan Jiubin. 3D measurement decoupling criterion in optical microscopy[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(3): 302001-0302001(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0302001

光学显微三维测量解耦合准则

doi: 10.3788/IRLA201746.0302001
基金项目: 

国家重大科学仪器设备开发项目(2011YQ040087);国防工业基础研究项目(2013xe0873);国家自然科学基金(51275121)

详细信息
    作者简介:

    刘俭(1974-),男,教授,博士,主要从事光学立体显微成像与计量、应用光学技术方面的研究。Email:liujian@hit.edu.cn

    通讯作者: 李梦周(1992-),男,博士,主要从事光学立体显微成像与计量、生物成像技术方面的研究。Email:lm2@hit.edu.cn
  • 中图分类号: TB96

3D measurement decoupling criterion in optical microscopy

  • 摘要: 光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器表征能力之间的关联关系。与现有W/3准则相比,光学显微三维测量解耦合准则能够客观反映光学仪器表征能力受样品结构差异变化的影响,指示高度测量解耦合评定的示值区域,预见高度测量原理误差产生,为沟槽或台阶样品三维结构表征提供了一种新的计量评定准则。
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-08-05
  • 修回日期:  2016-09-03
  • 刊出日期:  2017-03-25

光学显微三维测量解耦合准则

doi: 10.3788/IRLA201746.0302001
    作者简介:

    刘俭(1974-),男,教授,博士,主要从事光学立体显微成像与计量、应用光学技术方面的研究。Email:liujian@hit.edu.cn

    通讯作者: 李梦周(1992-),男,博士,主要从事光学立体显微成像与计量、生物成像技术方面的研究。Email:lm2@hit.edu.cn
基金项目:

国家重大科学仪器设备开发项目(2011YQ040087);国防工业基础研究项目(2013xe0873);国家自然科学基金(51275121)

  • 中图分类号: TB96

摘要: 光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器表征能力之间的关联关系。与现有W/3准则相比,光学显微三维测量解耦合准则能够客观反映光学仪器表征能力受样品结构差异变化的影响,指示高度测量解耦合评定的示值区域,预见高度测量原理误差产生,为沟槽或台阶样品三维结构表征提供了一种新的计量评定准则。

English Abstract

参考文献 (12)

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