留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

浸没式光刻照明系统的照明模式变换器

李美萱 董连和

李美萱, 董连和. 浸没式光刻照明系统的照明模式变换器[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(6): 618002-0618002(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0618002
引用本文: 李美萱, 董连和. 浸没式光刻照明系统的照明模式变换器[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(6): 618002-0618002(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0618002
Li Meixuan, Dong Lianhe. Light mode converter in immersion lithography lighting system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(6): 618002-0618002(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0618002
Citation: Li Meixuan, Dong Lianhe. Light mode converter in immersion lithography lighting system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(6): 618002-0618002(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0618002

浸没式光刻照明系统的照明模式变换器

doi: 10.3788/IRLA201847.0618002
基金项目: 

国家自然科学基金(91338116,11474037);吉林省教育厅科学研究项目(JJKH20181363KJ);2018年度校级项目支持(可预置强度关联成像理论及实验研究)

详细信息
    作者简介:

    李美萱(1984-),女,讲师,博士,主要从事先进光学系统设计与制造技术、微结构光学元件与薄膜波导术、光纤通信技术等方面的研究。Email:limx@jlenu.edu.cn

    通讯作者: 董连和(1953-),男,教授,博士,主要从事先进光学系统设计与制造技术、微细加工理论与工艺技术、微光学与应用等方面的研究。Email:custdong@126.com
  • 中图分类号: O436

Light mode converter in immersion lithography lighting system

  • 摘要: 研究了NA1.35浸没式光刻照明系统中照明模式变换模块的设计和测试。采用衍射光学元件实现包括传统照明、二极照明、四极照明的照明模式变换系统的设计和分析。给出了不同照明模式的衍射光学元件的设计结果,并对设计结果进行了模拟分析和实验分析,证明了设计的可行性。研究结果表明:当输入光场被分割的阵列数为2020单元时,二极和四极照明模式下衍射元件台阶数为32,传统照明模式下台阶数为128的情况下,衍射光学元件作为照明模式变换器的均匀性及衍射效率都能够满足设计要求。从原理、实验上验证衍射光学元件激光模式变换器设计的正确性及可行性。研究结果能够应用于浸没式光刻照明系统中照明模式变换结构中,具有一定的理论价值和工程意义。
  • [1] Zhang L, Liu D, Shi T, et al. Practical and accurate method for aspheric misalignment aberrations calibration in non-null interferometer testing[J]. Applied Optics, 2013, 52(35):8501-8511.
    [2] Dorodnyy A, Shklover V, Braginsky L, et al. High-efficiency spectrum splitting for solar photovoltaic[J]. Solar Energy Materials Solar Cells, 2015, 136(10):120-126.
    [3] Zhang Wei, Gong Yan. Design of diffractive optical elements for off-axis illumination in projection lithography[J]. Opt Precision Eng, 2008, 16(11):2081-2086. (in Chinese)
    [4] Song Qiang, Zhu Jing, Wang Jian. A mixed gradient algorithm for high performance DOE design in off axis lithography illumination system[J]. Acta Optica Sinica, 2015, 35(1):0122005. (in Chinese)
    [5] Zhang Wei, Liang Chuanyang, Li Jin, et al. Design of optical elements for beam shaping and unigorm illumination in laser digital projection display system[J]. Acta Optica Sinica, 2015, 35(1):0805001. (in Chinese)
    [6] Zhao Yang, Gong Yan. Design of beam shaping unit for deep ultraviolet lithographic illumination system[J]. Opt Precision Eng, 2011, 19(1):29-34. (in Chinese)
    [7] Bao Haiting, Ouyang Mingzhao, Wang Zhiyong, et al. Design of light field shaping system based on DOE identification[J]. Journal of Changchun University of Science and Technology, 2017, 40(2):27-32. (in Chinese)
    [8] Uzu H, Ichikawa M, Hino M, et al. High efficiency solar cells combining a perovskite and a silicon heterojunction solar cells visa an optical splitting system[J]. Appl Phys Lett, 2015, 106(1):013506.
    [9] Zhang Jian, Li Mengjuan, Yin Ganghua, et al. Large-diameter membrane Fresnel diffraction elements for space telescope[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(6):1289-1296. (in Chinese)
    [10] Zhang Wei, Gong Yan. Vector analysis of diffractive optical elements for off axis illumination of projection lithographic system[J]. Acta Optical Sinica, 2011, 31(10):1005002. (in Chinese)
    [11] Cui Qingfeng, Gao Shiping, Kuang Yuguang. Design, fabrication and experiment of a hybrid diffractive refractive binary optical system[J]. Optics and Precision Engineering,1997, 5(5):17-20. (in Chinese)
    [12] Yan Shuhua. Design of Diffractive Mmicro-optics[M]. Beijing:National Defence Industry Press, 2011:66-76. (in Chinese)
  • [1] 陈寒梅, 于春荣, 刘智超.  基于深度学习的室内照明智能调节系统 . 红外与激光工程, 2022, 51(7): 20210829-1-20210829-6. doi: 10.3788/IRLA20210829
    [2] 苏朋.  365 nm光刻照明系统中变焦系统的设计及公差分析 . 红外与激光工程, 2022, 51(7): 20210524-1-20210524-5. doi: 10.3788/IRLA20210524
    [3] 阮仁杰, 曹银花, 王晓帆, 马艳红, 王智勇, 兰天.  底发射VCSEL片上点阵结构光投影装置设计 . 红外与激光工程, 2022, 51(6): 20210640-1-20210640-9. doi: 10.3788/IRLA20210640
    [4] 黄蕴涵, 付跃刚, 刘智颖.  入瞳位置前置式双通道全景环带光学系统设计 . 红外与激光工程, 2019, 48(6): 618001-0618001(6). doi: 10.3788/IRLA201948.0618001
    [5] 姜连, 芮丛珊, 曾春梅, 马锁冬.  可变光片照明系统设计 . 红外与激光工程, 2019, 48(11): 1114003-1114003(9). doi: 10.3788/IRLA201948.1114003
    [6] 李美萱, 李宏, 张斯淇, 张文颖, 郭明.  基于离散抽样加密算法的衍射光学元件设计 . 红外与激光工程, 2019, 48(9): 916004-0916004(9). doi: 10.3788/IRLA201948.0916004
    [7] 肖志涛, 娄世良, 耿磊, 王梦蝶, 吴骏, 张芳, 苏龙.  便携式免散瞳眼底相机光学系统设计 . 红外与激光工程, 2018, 47(8): 818001-0818001(8). doi: 10.3788/IRLA201847.0818001
    [8] 刘显著, 王超, 江伦, 刘壮, 杨进华, 姜会林.  二维多项式位相光瞳滤波实现超分辨望远成像 . 红外与激光工程, 2018, 47(4): 418007-0418007(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0418007
    [9] 朱彤, 赵黎, 刘智港, 张峰.  兼顾照明的可见光MIMO通信系统模型 . 红外与激光工程, 2018, 47(8): 822001-0822001(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0822001
    [10] 杨亮亮.  衍射光学元件斜入射衍射效率的测量 . 红外与激光工程, 2018, 47(1): 117003-0117003(5). doi: 10.3788/IRLA201847.0117003
    [11] 高明, 许黄蓉, 刘钧, 吕宏, 陈阳.  折/衍射双波段共光路齐焦光学系统设计 . 红外与激光工程, 2017, 46(5): 518003-0518003(10). doi: 10.3788/IRLA201746.0518003
    [12] 李美萱, 王丽, 董连和, 赵迎.  非球面技术在浸没式光刻照明系统中的应用 . 红外与激光工程, 2017, 46(11): 1118003-1118003(6). doi: 10.3788/IRLA201746.1118003
    [13] 赵会富, 崔庆丰.  激光照明匀光技术的应用研究(英文) . 红外与激光工程, 2016, 45(S1): 41-47. doi: 10.3788/IRLA201645.S106001
    [14] 曾丹, 彭冬生, 蒋月.  LED照明的光学器件设计与仿真 . 红外与激光工程, 2016, 45(12): 1220001-1220001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.1220001
    [15] 张发强, 樊祥, 朱斌, 程正东, 方义强.  折衍混合长波红外光学系统消热差设计 . 红外与激光工程, 2015, 44(4): 1158-1163.
    [16] 孟祥翔, 刘伟奇, 魏忠伦, 柳华, 康玉思, 冯睿, 张大亮.  采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统 . 红外与激光工程, 2014, 43(5): 1505-1510.
    [17] 俞建杰, 马晶, 谭立英, 韩琦琦.  基于相位混合算法的衍射光学元件优化设计方法 . 红外与激光工程, 2013, 42(9): 2472-2477.
    [18] 李军琪, 张云龙, 苏军, 汪志斌, 郭小岗, 宗文俊, 张磊.  微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件 . 红外与激光工程, 2013, 42(11): 3053-3058.
    [19] 俞建杰, 韩琦琦, 马晶, 谭立英.  衍射光学元件在卫星激光通信终端中的潜在应用 . 红外与激光工程, 2013, 42(1): 130-137.
    [20] 殷可为, 黄智强, 林妩媚, 邢廷文.  衍射光学元件设计参数对杂散光的影响 . 红外与激光工程, 2013, 42(11): 3059-3064.
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  284
  • HTML全文浏览量:  31
  • PDF下载量:  30
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2018-01-10
  • 修回日期:  2018-02-20
  • 刊出日期:  2018-06-25

浸没式光刻照明系统的照明模式变换器

doi: 10.3788/IRLA201847.0618002
    作者简介:

    李美萱(1984-),女,讲师,博士,主要从事先进光学系统设计与制造技术、微结构光学元件与薄膜波导术、光纤通信技术等方面的研究。Email:limx@jlenu.edu.cn

    通讯作者: 董连和(1953-),男,教授,博士,主要从事先进光学系统设计与制造技术、微细加工理论与工艺技术、微光学与应用等方面的研究。Email:custdong@126.com
基金项目:

国家自然科学基金(91338116,11474037);吉林省教育厅科学研究项目(JJKH20181363KJ);2018年度校级项目支持(可预置强度关联成像理论及实验研究)

  • 中图分类号: O436

摘要: 研究了NA1.35浸没式光刻照明系统中照明模式变换模块的设计和测试。采用衍射光学元件实现包括传统照明、二极照明、四极照明的照明模式变换系统的设计和分析。给出了不同照明模式的衍射光学元件的设计结果,并对设计结果进行了模拟分析和实验分析,证明了设计的可行性。研究结果表明:当输入光场被分割的阵列数为2020单元时,二极和四极照明模式下衍射元件台阶数为32,传统照明模式下台阶数为128的情况下,衍射光学元件作为照明模式变换器的均匀性及衍射效率都能够满足设计要求。从原理、实验上验证衍射光学元件激光模式变换器设计的正确性及可行性。研究结果能够应用于浸没式光刻照明系统中照明模式变换结构中,具有一定的理论价值和工程意义。

English Abstract

参考文献 (12)

目录

    /

    返回文章
    返回