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一维纳米定位控制系统

李瑞君 赵文楷 何园涛 黄强先

李瑞君, 赵文楷, 何园涛, 黄强先. 一维纳米定位控制系统[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(10): 1017005-1017005(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1017005
引用本文: 李瑞君, 赵文楷, 何园涛, 黄强先. 一维纳米定位控制系统[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(10): 1017005-1017005(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1017005
Li Ruijun, Zhao Wenkai, He Yuantao, Huang Qiangxian. One-dimensional nano-positioning control system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(10): 1017005-1017005(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1017005
Citation: Li Ruijun, Zhao Wenkai, He Yuantao, Huang Qiangxian. One-dimensional nano-positioning control system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(10): 1017005-1017005(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1017005

一维纳米定位控制系统

doi: 10.3788/IRLA201847.1017005
基金项目: 

国家自然科学基金面上项目(51675157)

详细信息
    作者简介:

    李瑞君(1976-),男,副教授,硕士生导师,博士,主要从事微纳米测量技术及系统方面的研究。Email:rj-li@hfut.edu.cn

  • 中图分类号: TM930.2

One-dimensional nano-positioning control system

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出版历程
  • 收稿日期:  2018-05-07
  • 修回日期:  2018-06-12
  • 刊出日期:  2018-10-25

一维纳米定位控制系统

doi: 10.3788/IRLA201847.1017005
    作者简介:

    李瑞君(1976-),男,副教授,硕士生导师,博士,主要从事微纳米测量技术及系统方面的研究。Email:rj-li@hfut.edu.cn

基金项目:

国家自然科学基金面上项目(51675157)

  • 中图分类号: TM930.2

摘要: 研制了一套以数字信号处理(DSP)芯片为控制器的一维纳米定位控制系统。该系统主要由驱动平台、微型迈克尔逊干涉仪、DSP控制器等三个模块组成。其中驱动平台模块由线性滑轨、超声波马达HR4和驱动器AB2组成。HR4配合其专用驱动器AB2利用摩擦力来驱动侧面贴有陶瓷片的线性滑轨,微型迈克尔逊干涉仪用来感测滑轨的位移。基于BP神经网络的PID控制算法和迈克尔逊干涉仪的信号处理运算全部由DSP控制器完成。实验结果表明,该定位系统行程为20 mm,定位精度优于10 nm,重复定位标准偏差为7 nm。该定位系统具有系统架构简单,定位精度高等优点,可用于大行程高精度定位应用场合。

English Abstract

参考文献 (12)

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