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320×256 InAs/GaSb超晶格中/短波双色探测器组件研制

吕衍秋 彭震宇 曹先存 何英杰 李墨 孟超 朱旭波

吕衍秋, 彭震宇, 曹先存, 何英杰, 李墨, 孟超, 朱旭波. 320×256 InAs/GaSb超晶格中/短波双色探测器组件研制[J]. 红外与激光工程, 2020, 49(1): 0103007-0103007(5). doi: 10.3788/IRLA202049.0103007
引用本文: 吕衍秋, 彭震宇, 曹先存, 何英杰, 李墨, 孟超, 朱旭波. 320×256 InAs/GaSb超晶格中/短波双色探测器组件研制[J]. 红外与激光工程, 2020, 49(1): 0103007-0103007(5). doi: 10.3788/IRLA202049.0103007
Lv Yanqiu, Peng Zhenyu, Cao Xiancun, He Yingjie, Li Mo, Meng Chao, Zhu Xubo. 320×256 mid-/short-wavelength dual-color infrared detector based on InAs/GaSb superlattice[J]. Infrared and Laser Engineering, 2020, 49(1): 0103007-0103007(5). doi: 10.3788/IRLA202049.0103007
Citation: Lv Yanqiu, Peng Zhenyu, Cao Xiancun, He Yingjie, Li Mo, Meng Chao, Zhu Xubo. 320×256 mid-/short-wavelength dual-color infrared detector based on InAs/GaSb superlattice[J]. Infrared and Laser Engineering, 2020, 49(1): 0103007-0103007(5). doi: 10.3788/IRLA202049.0103007

320×256 InAs/GaSb超晶格中/短波双色探测器组件研制

doi: 10.3788/IRLA202049.0103007
详细信息
    作者简介:

    吕衍秋(1978-),男,研究员,博士,主要从事光电子技术及红外半导体技术应用方面的研究。Email:yanqiulv@126.com

  • 中图分类号: TN215

320×256 mid-/short-wavelength dual-color infrared detector based on InAs/GaSb superlattice

  • 摘要: InAs/GaSb超晶格材料制备的新型红外器件在最近十几年得到了迅速发展。文中开展了InAs/GaSb二类超晶格中/短波双色焦平面探测器组件研制,设计了中/短波双色叠层背靠背二极管芯片结构,用分子束外延技术生长出结构完整、表面平整、低缺陷密度的PNP结构超晶格材料,制备出性能优良的320×256双色焦平面探测器组件,对探测器组件进行了测试分析。结果显示,在77 K下中波二极管RA值达到26.0 kΩ·cm2,短波的RA值为562 kΩ·cm2。光谱响应特性表明短波响应波段为1.7~3 μm,中波为3~5 μm,满足设计要求。双色峰值探测率达到中波3.12×1011 cm·Hz1/2W-1,短波1.34×1011 cm·Hz1/2W-1。响应非均匀性中波为9.9%,短波为9.7%。中波有效像元率为98.46%,短波为98.06%。
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出版历程
  • 收稿日期:  2019-10-20
  • 修回日期:  2019-11-21

320×256 InAs/GaSb超晶格中/短波双色探测器组件研制

doi: 10.3788/IRLA202049.0103007
    作者简介:

    吕衍秋(1978-),男,研究员,博士,主要从事光电子技术及红外半导体技术应用方面的研究。Email:yanqiulv@126.com

  • 中图分类号: TN215

摘要: InAs/GaSb超晶格材料制备的新型红外器件在最近十几年得到了迅速发展。文中开展了InAs/GaSb二类超晶格中/短波双色焦平面探测器组件研制,设计了中/短波双色叠层背靠背二极管芯片结构,用分子束外延技术生长出结构完整、表面平整、低缺陷密度的PNP结构超晶格材料,制备出性能优良的320×256双色焦平面探测器组件,对探测器组件进行了测试分析。结果显示,在77 K下中波二极管RA值达到26.0 kΩ·cm2,短波的RA值为562 kΩ·cm2。光谱响应特性表明短波响应波段为1.7~3 μm,中波为3~5 μm,满足设计要求。双色峰值探测率达到中波3.12×1011 cm·Hz1/2W-1,短波1.34×1011 cm·Hz1/2W-1。响应非均匀性中波为9.9%,短波为9.7%。中波有效像元率为98.46%,短波为98.06%。

English Abstract

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