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单光栅数字莫尔位移测量法

伍剑 袁波 王立强

伍剑, 袁波, 王立强. 单光栅数字莫尔位移测量法[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3404-3409.
引用本文: 伍剑, 袁波, 王立强. 单光栅数字莫尔位移测量法[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3404-3409.
Wu Jian, Yuan Bo, Wang Liqiang. New displacement measurement method based on digital Moiré fringes formed by a single grating[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(10): 3404-3409.
Citation: Wu Jian, Yuan Bo, Wang Liqiang. New displacement measurement method based on digital Moiré fringes formed by a single grating[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(10): 3404-3409.

单光栅数字莫尔位移测量法

基金项目: 

国家自然科学基金(61205159)

详细信息
    作者简介:

    伍剑(1989-),男,硕士生,主要研究方向为光电检测及图像处理。Email:wujian_CNERC@zju.edu.cn

  • 中图分类号: TH741.1

New displacement measurement method based on digital Moiré fringes formed by a single grating

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出版历程
  • 收稿日期:  2014-02-08
  • 修回日期:  2014-03-10
  • 刊出日期:  2014-10-25

单光栅数字莫尔位移测量法

    作者简介:

    伍剑(1989-),男,硕士生,主要研究方向为光电检测及图像处理。Email:wujian_CNERC@zju.edu.cn

基金项目:

国家自然科学基金(61205159)

  • 中图分类号: TH741.1

摘要: 提出了一种使用单光栅测量位移的新方法,在该方法中,光栅信号经放大后由图像传感器阵列接收并被传送至计算机,然后通过与其镜像图像叠加的方式得到数字莫尔条纹,最后利用图像传感器像素的空间均匀性对莫尔条纹直接进行细分进而测得位移量。与传统的双光栅莫尔条纹位移测量法相比,该方法完全消除了光栅副层叠间隙,装调更为方便,而且细分成本更低。在阿贝比长仪上对由周期为20 m的光栅和2 0481 536像素的CMOS图像传感器构成的分辨率为0.04 m的测量系统进行测试,结果表明其最大位移误差优于0.18 m。

English Abstract

参考文献 (9)

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