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利用相位恢复波前传感技术检测球面镜面形

马鑫雪 王建立 王斌

马鑫雪, 王建立, 王斌. 利用相位恢复波前传感技术检测球面镜面形[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3428-3433.
引用本文: 马鑫雪, 王建立, 王斌. 利用相位恢复波前传感技术检测球面镜面形[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3428-3433.
Ma Xinxue, Wang Jianli, Wang Bin. Spherical mirror estimation using phase retrieval wavefront sensor technology[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(10): 3428-3433.
Citation: Ma Xinxue, Wang Jianli, Wang Bin. Spherical mirror estimation using phase retrieval wavefront sensor technology[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(10): 3428-3433.

利用相位恢复波前传感技术检测球面镜面形

基金项目: 

国家863计划(2011AA8082035)

详细信息
    作者简介:

    马鑫雪(1987-),女,助理研究员,博士,主要从事PR算法、最优化算法以及波前探测等方面的研究。Email:maxinxue@gmail.com

  • 中图分类号: TP391.4;TH703

Spherical mirror estimation using phase retrieval wavefront sensor technology

  • 摘要: 为了验证相位恢复波前传感器系统波前检测的能力,搭建了基于相位恢复测量方法的波前传感器检测球面镜面形的实验平台。该平台结构简单,抗震动,可以在对光路不进行任何改变的前提下,利用成像系统上已有的相机对整个光学系统进行在位检测。为了验证相位恢复波前传感器测量方法的准确性,将相位恢复波前传感器测量结果与ZYGO干涉仪测量结果进行比较,实验结果表明在面形误差分布及误差的峰谷值(PV)和方均根值(RMS)上,两者具有极大的相似性,所以利用相位恢复波前传感器技术能有效地检测出球面镜的面形误差。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-02-11
  • 修回日期:  2014-03-13
  • 刊出日期:  2014-10-25

利用相位恢复波前传感技术检测球面镜面形

    作者简介:

    马鑫雪(1987-),女,助理研究员,博士,主要从事PR算法、最优化算法以及波前探测等方面的研究。Email:maxinxue@gmail.com

基金项目:

国家863计划(2011AA8082035)

  • 中图分类号: TP391.4;TH703

摘要: 为了验证相位恢复波前传感器系统波前检测的能力,搭建了基于相位恢复测量方法的波前传感器检测球面镜面形的实验平台。该平台结构简单,抗震动,可以在对光路不进行任何改变的前提下,利用成像系统上已有的相机对整个光学系统进行在位检测。为了验证相位恢复波前传感器测量方法的准确性,将相位恢复波前传感器测量结果与ZYGO干涉仪测量结果进行比较,实验结果表明在面形误差分布及误差的峰谷值(PV)和方均根值(RMS)上,两者具有极大的相似性,所以利用相位恢复波前传感器技术能有效地检测出球面镜的面形误差。

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