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脉冲激光热力冲击效应对电沉积的作用

张长桃 张朝阳 蔡明霞 丁伟 毛卫平 徐宇蓝

张长桃, 张朝阳, 蔡明霞, 丁伟, 毛卫平, 徐宇蓝. 脉冲激光热力冲击效应对电沉积的作用[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(1): 65-70.
引用本文: 张长桃, 张朝阳, 蔡明霞, 丁伟, 毛卫平, 徐宇蓝. 脉冲激光热力冲击效应对电沉积的作用[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(1): 65-70.
Zhang Changtao, Zhang Zhaoyang, Cai Mingxia, Ding Wei, Mao Weiping, Xu Yulan. Effect of pulsed laser thermal shock to electro-deposition[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(1): 65-70.
Citation: Zhang Changtao, Zhang Zhaoyang, Cai Mingxia, Ding Wei, Mao Weiping, Xu Yulan. Effect of pulsed laser thermal shock to electro-deposition[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(1): 65-70.

脉冲激光热力冲击效应对电沉积的作用

基金项目: 

国家自然科学基金(51275218);江苏省自然科学研究基金(BK2011522);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金

详细信息
    作者简介:

    张长桃(1988-),男,硕士生,主要从事激光加工和电化学微细加工技术方面的研究。Email:813050965@qq.com

  • 中图分类号: TG174.441

Effect of pulsed laser thermal shock to electro-deposition

  • 摘要: 脉冲激光电化学复合沉积利用激光的热力冲击效应可以有效提高沉积效率,改善加工质量。在所构建的纳秒脉冲激光电化学沉积加工系统中,利用激光辐照和电化学沉积的方法对铜进行了复合沉积试验。分析了激光的热力冲击效应对电沉积的作用机理,激光产生的力效应使阴极基片发生弹性变形,改变了电极电势和电流密度,提高了电沉积质量。通过加工试验,研究了激光平均功率密度对沉积质量和沉积效率的影响,并进行了讨论。试验结果表明,激光平均功率密度介于100~400 kW/cm2时可以获得较好的沉积层质量。激光平均功率密度在200 kW/cm2左右,沉积速率取得最大值。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-05-11
  • 修回日期:  2014-06-14
  • 刊出日期:  2015-01-25

脉冲激光热力冲击效应对电沉积的作用

    作者简介:

    张长桃(1988-),男,硕士生,主要从事激光加工和电化学微细加工技术方面的研究。Email:813050965@qq.com

基金项目:

国家自然科学基金(51275218);江苏省自然科学研究基金(BK2011522);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金

  • 中图分类号: TG174.441

摘要: 脉冲激光电化学复合沉积利用激光的热力冲击效应可以有效提高沉积效率,改善加工质量。在所构建的纳秒脉冲激光电化学沉积加工系统中,利用激光辐照和电化学沉积的方法对铜进行了复合沉积试验。分析了激光的热力冲击效应对电沉积的作用机理,激光产生的力效应使阴极基片发生弹性变形,改变了电极电势和电流密度,提高了电沉积质量。通过加工试验,研究了激光平均功率密度对沉积质量和沉积效率的影响,并进行了讨论。试验结果表明,激光平均功率密度介于100~400 kW/cm2时可以获得较好的沉积层质量。激光平均功率密度在200 kW/cm2左右,沉积速率取得最大值。

English Abstract

参考文献 (27)

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