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光学薄膜参数测量方法研究

李凯朋 王多书 李晨 王济州 董茂进 张玲

李凯朋, 王多书, 李晨, 王济州, 董茂进, 张玲. 光学薄膜参数测量方法研究[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(3): 1048-1052.
引用本文: 李凯朋, 王多书, 李晨, 王济州, 董茂进, 张玲. 光学薄膜参数测量方法研究[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(3): 1048-1052.
Li Kaipeng, Wang Duoshu, Li Chen, Wang Jizhou, Dong Maojin, Zhang Ling. Study on optical thin film parameters measurement method[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(3): 1048-1052.
Citation: Li Kaipeng, Wang Duoshu, Li Chen, Wang Jizhou, Dong Maojin, Zhang Ling. Study on optical thin film parameters measurement method[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(3): 1048-1052.

光学薄膜参数测量方法研究

基金项目: 

国家自然科学基金(61231014,61373061)

详细信息
    作者简介:

    李凯朋(1988-),男,硕士生,主要从事光学薄膜参数反演计算方面的研究.Email:13259756785@163.com

    通讯作者: 王多书(1973-),男,硕士生导师,博士,主要从事空间光学薄膜技术方面的研究.Email:wang_d_s@sina.com
  • 中图分类号: O484

Study on optical thin film parameters measurement method

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  • 文章访问数:  493
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  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2014-07-05
  • 修回日期:  2014-08-03

光学薄膜参数测量方法研究

    作者简介:

    李凯朋(1988-),男,硕士生,主要从事光学薄膜参数反演计算方面的研究.Email:13259756785@163.com

    通讯作者: 王多书(1973-),男,硕士生导师,博士,主要从事空间光学薄膜技术方面的研究.Email:wang_d_s@sina.com
基金项目:

国家自然科学基金(61231014,61373061)

  • 中图分类号: O484

摘要: 为了研准确性和效率更高的膜层光学薄膜参数测量方法,对优化膜系结构和改进制备工艺都有重要的指导作用.论文在研究传统测量方法基础上,将包络线法与全光谱拟合反演法相结合,提出了一种新型的光学薄膜参数测量方法.该方法将采用包络线法计算的单层膜光学薄膜参数近似值作为参考,设置全光谱拟合反演法优化搜索的上下限,结合适当的评价函数构建计算物理模型,并选用综合优化算法求解获得待测膜系各膜层的光学薄膜参数.最后设计TiO2、SiO2单层膜和膜系为:G|0.5HLHL0.5H|A(H-TiO2,L-SiO2)的多层膜进行测量验证,并分析了该测量方法的效率准确度、稳定性等.

English Abstract

参考文献 (19)

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