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非零位补偿检验非球面技术

王孝坤

王孝坤. 非零位补偿检验非球面技术[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(9): 2702-2709.
引用本文: 王孝坤. 非零位补偿检验非球面技术[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(9): 2702-2709.
Wang Xiaokun. Testing of aspheric mirror by non-null compensation method[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(9): 2702-2709.
Citation: Wang Xiaokun. Testing of aspheric mirror by non-null compensation method[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(9): 2702-2709.

非零位补偿检验非球面技术

基金项目: 

国家863基金(O8663NJ090);国家973基金(2011CB0132005);国家自然科学基金(61036015)

详细信息
    作者简介:

    王孝坤(1980-),男,副研究员,博士生导师,博士,主要从事光学超精加工和检测技术研究。Email:jimwxk@sohu.com

  • 中图分类号: TQ171.65

Testing of aspheric mirror by non-null compensation method

  • 摘要: 为了无需定制补偿透镜或者计算全息等就能实现对非球面光学元件的检测,提出了非零位补偿测试非球面的方法。对非零位补偿检验非球面中的部分补偿法、数字样板法和子孔径拼接法的基本原理和基础理论分别进行了分析和研究,建立了合理的数学模型,并对其具体的实现步骤和测试流程进行了分析和规划。结合工程实例,分别利用数字样板法和子孔径拼接法对一口径为350 mm的浅度非球面进行了面形检测,两种方法面形的PV值和RMS值的偏差分别为0.015和0.002(=632.8 nm),并设计和组建了部分补偿检验装置对一高精度凸双曲非球面反射镜进行了测量,其面形的PV值和RMS值分别为0.183和0.018。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-01-05
  • 修回日期:  2015-02-15
  • 刊出日期:  2015-09-25

非零位补偿检验非球面技术

    作者简介:

    王孝坤(1980-),男,副研究员,博士生导师,博士,主要从事光学超精加工和检测技术研究。Email:jimwxk@sohu.com

基金项目:

国家863基金(O8663NJ090);国家973基金(2011CB0132005);国家自然科学基金(61036015)

  • 中图分类号: TQ171.65

摘要: 为了无需定制补偿透镜或者计算全息等就能实现对非球面光学元件的检测,提出了非零位补偿测试非球面的方法。对非零位补偿检验非球面中的部分补偿法、数字样板法和子孔径拼接法的基本原理和基础理论分别进行了分析和研究,建立了合理的数学模型,并对其具体的实现步骤和测试流程进行了分析和规划。结合工程实例,分别利用数字样板法和子孔径拼接法对一口径为350 mm的浅度非球面进行了面形检测,两种方法面形的PV值和RMS值的偏差分别为0.015和0.002(=632.8 nm),并设计和组建了部分补偿检验装置对一高精度凸双曲非球面反射镜进行了测量,其面形的PV值和RMS值分别为0.183和0.018。

English Abstract

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