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基于条纹投射和正弦相位调制的表面形貌测量系统

冯帆 段发阶 伯恩 吕昌荣 傅骁 黄婷婷

冯帆, 段发阶, 伯恩, 吕昌荣, 傅骁, 黄婷婷. 基于条纹投射和正弦相位调制的表面形貌测量系统[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(12): 3762-3768.
引用本文: 冯帆, 段发阶, 伯恩, 吕昌荣, 傅骁, 黄婷婷. 基于条纹投射和正弦相位调制的表面形貌测量系统[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(12): 3762-3768.
Feng Fan, Duan Fajie, Bo En, Lv Changrong, Fu Xiao, Huang Tingting. Surface profile measuring system based on fringe projection and sinusoidal phase modulation[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(12): 3762-3768.
Citation: Feng Fan, Duan Fajie, Bo En, Lv Changrong, Fu Xiao, Huang Tingting. Surface profile measuring system based on fringe projection and sinusoidal phase modulation[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(12): 3762-3768.

基于条纹投射和正弦相位调制的表面形貌测量系统

基金项目: 

国家“863”计划(2013AA102402);国家自然科学基金(51275349)

详细信息
    作者简介:

    冯帆(1989-),男,硕士生,主要研究激光测试技术。Email:tjufengfan@163.com

  • 中图分类号: TH741;O436;TN249

Surface profile measuring system based on fringe projection and sinusoidal phase modulation

  • 摘要: 基于条纹投射和正弦相位调制技术,提出了一种用于测量物体表面三维形貌信息的光纤干涉系统。通过杨氏双孔结构实现了条纹投射,并以余弦电压信号驱动压电陶瓷实现正弦相位调制。为了消除机械振动、温度波动等外部干扰,采用相位控制系统对相位漂移进行检测,并生成实时相位补偿信号。补偿后相位误差可达6.8 mrad,从而获得高精度的干涉条纹相位稳定度。对待测件的表面轮廓连续测量两次,时间间隔为10 min,测量重复度达到0.05波长。实验结果证明:该系统能够实现较高精度的表面形貌测量。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-04-10
  • 修回日期:  2015-05-12
  • 刊出日期:  2015-12-25

基于条纹投射和正弦相位调制的表面形貌测量系统

    作者简介:

    冯帆(1989-),男,硕士生,主要研究激光测试技术。Email:tjufengfan@163.com

基金项目:

国家“863”计划(2013AA102402);国家自然科学基金(51275349)

  • 中图分类号: TH741;O436;TN249

摘要: 基于条纹投射和正弦相位调制技术,提出了一种用于测量物体表面三维形貌信息的光纤干涉系统。通过杨氏双孔结构实现了条纹投射,并以余弦电压信号驱动压电陶瓷实现正弦相位调制。为了消除机械振动、温度波动等外部干扰,采用相位控制系统对相位漂移进行检测,并生成实时相位补偿信号。补偿后相位误差可达6.8 mrad,从而获得高精度的干涉条纹相位稳定度。对待测件的表面轮廓连续测量两次,时间间隔为10 min,测量重复度达到0.05波长。实验结果证明:该系统能够实现较高精度的表面形貌测量。

English Abstract

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