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红外探测器滤光膜的研究与制备

孙岩 付秀华 石澎 姚林

孙岩, 付秀华, 石澎, 姚林. 红外探测器滤光膜的研究与制备[J]. 红外与激光工程, 2012, 41(1): 129-132.
引用本文: 孙岩, 付秀华, 石澎, 姚林. 红外探测器滤光膜的研究与制备[J]. 红外与激光工程, 2012, 41(1): 129-132.
SUN Yan, FU Xiu-Hua, SHI Peng, YAO Lin. Research and fabrication of infrared detector filter film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2012, 41(1): 129-132.
Citation: SUN Yan, FU Xiu-Hua, SHI Peng, YAO Lin. Research and fabrication of infrared detector filter film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2012, 41(1): 129-132.

红外探测器滤光膜的研究与制备

Research and fabrication of infrared detector filter film

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出版历程
  • 刊出日期:  2012-01-25

红外探测器滤光膜的研究与制备

摘要: 为满足红外探测器在1.064 m和3~5 m双波段透射,在1.2~2.8 m波段反射,可适应复杂的环境条件、具有高稳定性和可靠性等要求,依据薄膜的设计理论,选择合理的膜系设计方法,借助TFC膜系设计软件对膜系结构进行优化设计。并采用电子束真空蒸发和离子辅助沉积技术,在蓝宝石晶体基底上镀制红外多波段滤光膜。同时对所使用的薄膜材料的光学、物理、化学和机械特性进行分析与研究。通过反复试验,优化工艺参数,使多波段滤光膜得以实现。对所制得的薄膜进行测试,基本满足红外探测器的使用要求。

English Abstract

参考文献 (8)

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