提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光强度的研究

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光强度的研究

谢耀, 赵永蓬, 王骐

文章导航 > 红外与激光工程 > 2013 > 42(8): 2036-2040

谢耀, 赵永蓬, 王骐. 提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光强度的研究[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(8): 2036-2040.

引用本文:

谢耀, 赵永蓬, 王骐. 提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光强度的研究[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(8): 2036-2040.

Xie Yao, Zhao Yongpeng, Wang Qi. Research of enhancing the output of capillary discharge-pumped Ne-like Ar 46.9 nm soft X-ray laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(8): 2036-2040.

Citation:

Xie Yao, Zhao Yongpeng, Wang Qi. Research of enhancing the output of capillary discharge-pumped Ne-like Ar 46.9 nm soft X-ray laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(8): 2036-2040.

提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光强度的研究

1.
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春 130033;
2.
哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室光电子技术研究所,黑龙江哈尔滨 150080

基金项目:

国家自然科学基金（61078034）

作者简介:
谢耀（1982-），男，助理研究员，博士，主要从事EUV光刻曝光光学系统装调方面的研究。Email：xie_yao3@163.com

中图分类号: TN248.6

Research of enhancing the output of capillary discharge-pumped Ne-like Ar 46.9 nm soft X-ray laser

1.
State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;
2.
National Key Laboratory of Science and Technology on Tunable Laser,Institute of Optical-electronics,Harbin Institute of Technology,Harbin 150080,China

摘要: 为了提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光的强度，研究了工作介质中气体的掺杂对激光强度的影响。研究表明，在纯Ar中掺入适量的He显著地提高了激光的输出强度。通过对比在Ar中掺入Ne、N2以及Kr等其他气体的实验，系统地分析了He的掺入对等离子温度的影响，找到了在特定工作气压下最佳的掺杂比，有利于进一步提高毛细管放电46.9 nm软X射线激光的强度。在放电等离子体极紫外光刻（EUVL）光源研究过程中，也采用了在Xe中掺入适量He的方式以提高13.5 nm的输出强度。
- 毛细管 /
- 软X射线激光 /
- XRD /
- Rowland谱仪 /
- 类氖氩
Abstract: The observation of the capillary discharge-pumped Ne-like Ar 46.9 nm soft X-ray laser output was reported under the condition of pure Ar and gaseous mixture of Ar-He, Ar-Ne, Ar-N2 and Ar-Kr. Mixing Ar with an appropriate quantity of He, the laser output was enhanced evidently, and there was an optimum ratio of He in the gaseous mixture of Ar-He, which could be the best for laser output. The experimental results of Ar-Ne, Ar-N2 and Ar-Kr mixture show that Ne, N2 and Kr decrease the laser output. The source research of discharged produced plasma in extreme ultraviolet lithography also mixes an appropriate quantity of He, in order to enhance 13.5 nm.
- capillary /
- soft X-ray laser /
- XRD /
- Rowland spectrograph /
- Ne-like Ar

[1]	Gaeta C J, Rieger H, Turcu I C E, et al. High-power collimated laser-plasma source for proximity X-Ray nanolithography[J]. Journal of Vacuum Science and Technology B, 2003, 21(1): 280-287.
[2]	Izumi N, Snavely R, Gregori G, et al. Remington application of imaging plates to X-ray imaging and spectroscopy in laser plasma experiments[J]. Review of Scientific Instruments, 2006, 77(10): 325-1-325-5.
[3]	Rocca J J, Shlyaptsev V, Tomasel F G, et al. Demonstration of a discharge pumped table-top soft-X-ray laser[J]. Physical Review Letters, 1994, 73(6): 2192-2195.
[4]	Ben-Kish A, Shuker M, Nemirovsky R A, et al. Plasma dynamics in capillary discharge soft X-ray lasers[J]. Physical Review Letters, 2001, 87(1): 015002.
[5]	Niimi G, Hayashi Y, Nakajima M, Watanabe M, et al. Observation of multi-pulse soft X-ray lasing in a fast capillary discharge[J]. Journal of Physics D: Applied Physics, 2001, 34(14): 2123~2126.
[6]	Tan C A, Kwek K H. Development of a low current discharge-driven soft X-ray laser[J]. Journal of Physics D: Applied Physics, 2007, 40(16): 4787-4792.
[7]	Zhao Y P, Chen Y L, Wu Y C, et al. Effects of capillary discharge current on the time of lasing onset of soft X-ray laser at low pressure[J]. Journal of Physics D: Applied Physics, 2006, 39(2): 342-346.
[8]	Zhao Y P, Jiang S, Xie Y, et al. Demonstration of soft X-ray laser of Ne-like Ar at 69.8 nm pumped by capillary discharge[J]. Optics Letters, 2011, 36(17): 3458-3460.
[9]	Qu Yancheng, Ren Deming, Zhao Weijiang, et al. Experimental research on miniature folded cavity TEA CO2 Laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2007, 36(5): 632-634, 655. (in Chinese)
[10]	Shao Mingzhen, Shao Chunlei. Design of structure and optimization of flow field for mainframe of high power TEA CO2 Laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2012, 41(6):1508-1513. (in Chinese)

[1]	袁国庆, 李红, 罗新建, 鹿利单, 祝连庆. 用于毛细管回音壁谐振的光纤楔形端面耦合器 . 红外与激光工程, 2023, 52(9): 20220851-1-20220851-8. doi: 10.3788/IRLA20220851
[2]	韦敏习, 尚万里, 侯立飞, 孙奥, 车兴森, 杨国洪. 高精度X射线柱面弯晶检测方法 . 红外与激光工程, 2022, 51(10): 20211121-1-20211121-5. doi: 10.3788/IRLA20211121
[3]	谢臣瑜, 翟文超, 郝小鹏, 谢琳琳, 刘延, 李健军, 郑小兵. 超连续谱激光-单色仪在偏振遥感器定标中的影响因素分析 . 红外与激光工程, 2021, 50(5): 20200313-1-20200313-10. doi: 10.3788/IRLA20200313
[4]	吴朝, 魏文彬, 高昆, 田扬超. 快速高能X射线光栅相衬成像 . 红外与激光工程, 2019, 48(8): 825004-0825004(5). doi: 10.3788/IRLA201948.0825004
[5]	谢文亮, 沈正祥, 余俊, 王占山, 黄帆, 陈昌亚, 范峰. X射线聚焦望远镜的支撑结构设计与力学实验分析 . 红外与激光工程, 2018, 47(4): 418002-0418002(7). doi: 10.3788/IRLA201847.0418002
[6]	王静, 张文海, 杨国洪, 韦敏习, 郑雷. 2 000~2 800 eV软X光入射CsI(TI)闪烁体的探测效率标定 . 红外与激光工程, 2018, 47(9): 917003-0917003(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0917003
[7]	李瑶, 苏桐, 石峰, 盛立志, 强鹏飞, 赵宝升. 空间X射线通信系统误码率分析 . 红外与激光工程, 2018, 47(6): 622001-0622001(7). doi: 10.3788/IRLA201847.0622001
[8]	顾礼, 宗方轲, 李翔, 周军兰, 杨勤劳, 郭宝平. 用于激光聚变的X射线条纹相机阴极检测系统 . 红外与激光工程, 2018, 47(8): 817002-0817002(5). doi: 10.3788/IRLA201847.0817002
[9]	姜红, 范烨, 王嘉庚, 陈煜太, 郭鹏, 满吉, 杨敏男, 钟宇. X射线荧光光谱法检验橡胶鞋底的研究 . 红外与激光工程, 2017, 46(10): 1023002-1023002(6). doi: 10.3788/IRLA201791.1023002
[10]	耿磊, 彭晓帅, 肖志涛, 李秀艳, 荣锋, 马潇. 位置信息约束的SMT料盘X射线图像检测方法 . 红外与激光工程, 2017, 46(6): 617004-0617004(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0617004
[11]	耿磊, 马潇, 肖志涛, 张芳, 荣锋, 彭晓帅. X射线线阵探测器校正与滤波 . 红外与激光工程, 2017, 46(12): 1226001-1226001(8). doi: 10.3788/IRLA201746.1226001
[12]	荣锋, 梁莹, 杨亚东, 马雪皓. X射线光栅相衬成像的仿真 . 红外与激光工程, 2017, 46(12): 1220002-1220002(7). doi: 10.3788/IRLA201746.1220002
[13]	张玲, 沈正祥, 刘娜, 余俊, 王占山. 基于多元约束的小型软X射线偏振望远镜光学设计及优化 . 红外与激光工程, 2017, 46(7): 718002-0718002(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0718002
[14]	王洪建, 阳庆国, 叶雁, 彭其先, 粟敬钦, 李泽仁. 激光驱动纳米须靶产生X射线转换效率研究 . 红外与激光工程, 2016, 45(11): 1106008-1106008(6). doi: 10.3788/IRLA201645.1106008
[15]	易龙涛, 孙天希, 王锴, 彭诗棋, 韩悦, 张爽, 刘志国. 一种基于方形多毛细管透镜的X射线探测系统设计 . 红外与激光工程, 2016, 45(S1): 146-151. doi: 10.3788/IRLA201645.S117001
[16]	俞建杰, 曾倪香, 叶凌云, 方建正, 宋开臣. X射线脉冲星能谱模拟方法 . 红外与激光工程, 2015, 44(S1): 126-130.
[17]	徐强, 赵永蓬, 李小强, 李琦, 王骐. 毛细管内径对Xe 气放电极紫外光源的影响 . 红外与激光工程, 2014, 43(9): 2873-2877.
[18]	杨国洪, 李军, 韦敏习, 侯立飞, 易涛, 刘慎业. X射线分光晶体高阶衍射效率标定方法 . 红外与激光工程, 2013, 42(12): 3325-3329.
[19]	程吉凤, 朱耀明, 唐恒敬, 李雪, 邵秀梅, 李淘. ICP刻蚀InGaAs的微观损伤机制研究 . 红外与激光工程, 2013, 42(8): 2186-2189.
[20]	季一勤, 姜玉刚, 刘华松, 王利栓, 刘丹丹, 姜承慧, 羊亚平, 樊荣伟, 陈德应. 热处理对离子束溅射SiO₂薄膜结构特性的影响分析 . 红外与激光工程, 2013, 42(2): 418-422.

WeChat

点击查看大图

计量

文章访问数: 306
HTML全文浏览量: 50
PDF下载量: 134
被引次数: 0

提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光强度的研究

1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春 130033;

2. 哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室光电子技术研究所,黑龙江哈尔滨 150080

作者简介:
谢耀（1982-），男，助理研究员，博士，主要从事EUV光刻曝光光学系统装调方面的研究。Email：xie_yao3@163.com

收稿日期: 2012-12-17
修回日期: 2013-01-19
刊出日期: 2013-08-25

基金项目:

国家自然科学基金（61078034）

中图分类号: TN248.6

关键词:

摘要: 为了提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光的强度，研究了工作介质中气体的掺杂对激光强度的影响。研究表明，在纯Ar中掺入适量的He显著地提高了激光的输出强度。通过对比在Ar中掺入Ne、N2以及Kr等其他气体的实验，系统地分析了He的掺入对等离子温度的影响，找到了在特定工作气压下最佳的掺杂比，有利于进一步提高毛细管放电46.9 nm软X射线激光的强度。在放电等离子体极紫外光刻（EUVL）光源研究过程中，也采用了在Xe中掺入适量He的方式以提高13.5 nm的输出强度。

English Abstract

全文HTML

参考文献 (10)

/

下载: 全尺寸图片幻灯片

分享

用微信扫码二维码

分享至好友和朋友圈

返回