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杂质微粒对薄膜的损伤效应

周成虎 张秋慧 黄明明 黄全振

周成虎, 张秋慧, 黄明明, 黄全振. 杂质微粒对薄膜的损伤效应[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(7): 721004-0721004(6). doi: 10.3788/IRLA201645.0721004
引用本文: 周成虎, 张秋慧, 黄明明, 黄全振. 杂质微粒对薄膜的损伤效应[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(7): 721004-0721004(6). doi: 10.3788/IRLA201645.0721004
Zhou Chenghu, Zhang Qiuhui, Huang Mingming, Huang Quanzhen. Damage effects of impurity particles on film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(7): 721004-0721004(6). doi: 10.3788/IRLA201645.0721004
Citation: Zhou Chenghu, Zhang Qiuhui, Huang Mingming, Huang Quanzhen. Damage effects of impurity particles on film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(7): 721004-0721004(6). doi: 10.3788/IRLA201645.0721004

杂质微粒对薄膜的损伤效应

doi: 10.3788/IRLA201645.0721004
基金项目: 

国家自然科学基金(61403123);郑州市科技局民生科技进步工程(131PZDGC136)

详细信息
    作者简介:

    周成虎(1973-),男,讲师,硕士,主要从事激光技术、非接触电能传输技术应用方向的研究。Email:68695331@163.com

    通讯作者: 张秋慧(1982-),女,副教授,博士,主要从事新型激光技术、光与物质相互作用、新型激光材料方面的研究。Email:newyear1234@163.com
  • 中图分类号: TN215

Damage effects of impurity particles on film

  • 摘要: 激光对光学薄膜的损伤仍然是限制高能激光系统的主要挑战。对杂质诱导薄膜损伤的激励进行了研究:首先对损伤形貌进行了观测,在此基础上对杂质对薄膜的作用效应进行了分析。研究结果表明:杂质粒子对薄膜产生的各种效应,主要分为热力学效应、散射引起干涉效应和激光等离子体破坏效应,这三种效应的共同作用效果决定了损伤的特点。这些作用效应与粒子的半径密切相关:当粒子较小时,激光的沉积量较少,引起邻近材料的温升较低,扩散范围较小,主要是熔化破坏;当粒子较大时,激光沉积量较多,会引起邻近光学材料的汽化和电离,形成激光等离子体而造成大的烧蚀坑。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-11-07
  • 修回日期:  2015-12-08
  • 刊出日期:  2016-07-25

杂质微粒对薄膜的损伤效应

doi: 10.3788/IRLA201645.0721004
    作者简介:

    周成虎(1973-),男,讲师,硕士,主要从事激光技术、非接触电能传输技术应用方向的研究。Email:68695331@163.com

    通讯作者: 张秋慧(1982-),女,副教授,博士,主要从事新型激光技术、光与物质相互作用、新型激光材料方面的研究。Email:newyear1234@163.com
基金项目:

国家自然科学基金(61403123);郑州市科技局民生科技进步工程(131PZDGC136)

  • 中图分类号: TN215

摘要: 激光对光学薄膜的损伤仍然是限制高能激光系统的主要挑战。对杂质诱导薄膜损伤的激励进行了研究:首先对损伤形貌进行了观测,在此基础上对杂质对薄膜的作用效应进行了分析。研究结果表明:杂质粒子对薄膜产生的各种效应,主要分为热力学效应、散射引起干涉效应和激光等离子体破坏效应,这三种效应的共同作用效果决定了损伤的特点。这些作用效应与粒子的半径密切相关:当粒子较小时,激光的沉积量较少,引起邻近材料的温升较低,扩散范围较小,主要是熔化破坏;当粒子较大时,激光沉积量较多,会引起邻近光学材料的汽化和电离,形成激光等离子体而造成大的烧蚀坑。

English Abstract

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