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组合激光辐照单晶硅的热作用数值分析

张明鑫 聂劲松 孙可 韩敏

张明鑫, 聂劲松, 孙可, 韩敏. 组合激光辐照单晶硅的热作用数值分析[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(11): 1106011-1106011(8). doi: 10.3788/IRLA201847.1106011
引用本文: 张明鑫, 聂劲松, 孙可, 韩敏. 组合激光辐照单晶硅的热作用数值分析[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(11): 1106011-1106011(8). doi: 10.3788/IRLA201847.1106011
Zhang Mingxin, Nie Jinsong, Sun Ke, Han Min. Numerical analysis on thermal function of single crystal silicon irradiated by combined laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(11): 1106011-1106011(8). doi: 10.3788/IRLA201847.1106011
Citation: Zhang Mingxin, Nie Jinsong, Sun Ke, Han Min. Numerical analysis on thermal function of single crystal silicon irradiated by combined laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(11): 1106011-1106011(8). doi: 10.3788/IRLA201847.1106011

组合激光辐照单晶硅的热作用数值分析

doi: 10.3788/IRLA201847.1106011
基金项目: 

国家"十三五装备"预先研究项目

详细信息
    作者简介:

    张明鑫(1994-),男,硕士生,主要从事激光损伤方面的研究。Email:zmx7530101@163.com

  • 中图分类号: TN249

Numerical analysis on thermal function of single crystal silicon irradiated by combined laser

  • 摘要: 利用有限元法对组合激光辐照单晶硅的温度及应力场进行了数值分析,在组合激光与连续激光平均功率密度相同的前提条件下比较了组合激光和连续激光分别作用于单晶硅的损伤效果。计算结果表明,组合激光与连续激光相比更有利于实现对单晶硅的热损伤;组合激光作用下单晶硅内部的Von Mises应力、轴向应力和环向应力比在连续激光作用下要大,组合激光对单晶硅的损伤比连续激光更强。
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出版历程
  • 收稿日期:  2018-06-05
  • 修回日期:  2018-07-03
  • 刊出日期:  2018-11-25

组合激光辐照单晶硅的热作用数值分析

doi: 10.3788/IRLA201847.1106011
    作者简介:

    张明鑫(1994-),男,硕士生,主要从事激光损伤方面的研究。Email:zmx7530101@163.com

基金项目:

国家"十三五装备"预先研究项目

  • 中图分类号: TN249

摘要: 利用有限元法对组合激光辐照单晶硅的温度及应力场进行了数值分析,在组合激光与连续激光平均功率密度相同的前提条件下比较了组合激光和连续激光分别作用于单晶硅的损伤效果。计算结果表明,组合激光与连续激光相比更有利于实现对单晶硅的热损伤;组合激光作用下单晶硅内部的Von Mises应力、轴向应力和环向应力比在连续激光作用下要大,组合激光对单晶硅的损伤比连续激光更强。

English Abstract

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