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CVD-ZnS胞状生长现象抑制方法

杨德雨 杨海 李红卫 霍承松 魏乃光 黎建明 李冬旭 史晶晶

杨德雨, 杨海, 李红卫, 霍承松, 魏乃光, 黎建明, 李冬旭, 史晶晶. CVD-ZnS胞状生长现象抑制方法[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(11): 1121001-1121001(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1121001
引用本文: 杨德雨, 杨海, 李红卫, 霍承松, 魏乃光, 黎建明, 李冬旭, 史晶晶. CVD-ZnS胞状生长现象抑制方法[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(11): 1121001-1121001(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1121001
Yang Deyu, Yang Hai, Li Hongwei, Huo Chengsong, Wei Naiguang, Li Jianming, Li Dongxu, Shi Jingjing. Counteracting methods of nodular growth in CVD-ZnS[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(11): 1121001-1121001(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1121001
Citation: Yang Deyu, Yang Hai, Li Hongwei, Huo Chengsong, Wei Naiguang, Li Jianming, Li Dongxu, Shi Jingjing. Counteracting methods of nodular growth in CVD-ZnS[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(11): 1121001-1121001(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1121001

CVD-ZnS胞状生长现象抑制方法

doi: 10.3788/IRLA201847.1121001
详细信息
    作者简介:

    杨德雨(1992-),男,硕士生,主要从事CVD-ZnS晶体异常生长现象方面的研究。Email:csuyangdeyu@163.com

  • 中图分类号: TN213

Counteracting methods of nodular growth in CVD-ZnS

  • 摘要: 实验采用化学气相沉积方法制备硫化锌体材料(CVD-ZnS),并对材料中普遍出现的胞状生长现象进行了系统研究。通过微观结构表征及宏观形貌分析,发现胞状生长起始于大尺寸的晶体生长中心,其内部晶粒的生长方向发生了横向偏移,且生长速率大于正常晶粒,最终导致了产物表面的球状凸起,产物侧剖面表现出倒圆锥状生长形貌。同时,依据实验中所出现的不同胞状生长现象,探究了胞状物异常生长中心形成的主要原因。在此基础之上,设计了不同条件的沉积实验,探究了各类胞状生长现象的抑制方法,并在实际生产过程中得到了验证,从而实现了对该异常现象的有效抑制。
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出版历程
  • 收稿日期:  2018-06-10
  • 修回日期:  2018-07-20
  • 刊出日期:  2018-11-25

CVD-ZnS胞状生长现象抑制方法

doi: 10.3788/IRLA201847.1121001
    作者简介:

    杨德雨(1992-),男,硕士生,主要从事CVD-ZnS晶体异常生长现象方面的研究。Email:csuyangdeyu@163.com

  • 中图分类号: TN213

摘要: 实验采用化学气相沉积方法制备硫化锌体材料(CVD-ZnS),并对材料中普遍出现的胞状生长现象进行了系统研究。通过微观结构表征及宏观形貌分析,发现胞状生长起始于大尺寸的晶体生长中心,其内部晶粒的生长方向发生了横向偏移,且生长速率大于正常晶粒,最终导致了产物表面的球状凸起,产物侧剖面表现出倒圆锥状生长形貌。同时,依据实验中所出现的不同胞状生长现象,探究了胞状物异常生长中心形成的主要原因。在此基础之上,设计了不同条件的沉积实验,探究了各类胞状生长现象的抑制方法,并在实际生产过程中得到了验证,从而实现了对该异常现象的有效抑制。

English Abstract

参考文献 (12)

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