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KDP晶体表面残留磁流变抛光液清洗技术研究

李晓媛 高伟 田东 董会 吉方 王超

李晓媛, 高伟, 田东, 董会, 吉方, 王超. KDP晶体表面残留磁流变抛光液清洗技术研究[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(S1): 132-137. doi: 10.3788/IRLA201847.S120006
引用本文: 李晓媛, 高伟, 田东, 董会, 吉方, 王超. KDP晶体表面残留磁流变抛光液清洗技术研究[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(S1): 132-137. doi: 10.3788/IRLA201847.S120006
Li Xiaoyuan, Gao Wei, Tian Dong, Dong Hui, Ji Fang, Wang Chao. Study on cleaning of residual from magnetorheological finishing(MRF) of potassium dihydrogen phosphate(KDP) crystal surface[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(S1): 132-137. doi: 10.3788/IRLA201847.S120006
Citation: Li Xiaoyuan, Gao Wei, Tian Dong, Dong Hui, Ji Fang, Wang Chao. Study on cleaning of residual from magnetorheological finishing(MRF) of potassium dihydrogen phosphate(KDP) crystal surface[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(S1): 132-137. doi: 10.3788/IRLA201847.S120006

KDP晶体表面残留磁流变抛光液清洗技术研究

doi: 10.3788/IRLA201847.S120006
基金项目: 

国家自然科学基金(51575501,51202228);科学挑战专题(JCKY2016212A506-0503);中国工程物理研究院发展基金(2015B0203030)

详细信息
    作者简介:

    李晓媛(1987-),女,工程师,硕士,主要从事光学元件超精密加工及后处理方面的研究。Email:lxy20056482@126.com

  • 中图分类号: TH161

Study on cleaning of residual from magnetorheological finishing(MRF) of potassium dihydrogen phosphate(KDP) crystal surface

  • 摘要: 磷酸二氢钾(KDP)晶体是一种非常优良的非线性光学晶体材料,在强激光系统中有着重要应用。但其理化性质特殊,加工高表面质量的元件难度很大。目前研究认为磁流变抛光技术能够获得高精度的KDP晶体表面,但是该加工过程带入的表面残留如不清除,会大大降低元件的性能。提出了一种针对磁流变抛光后续的KDP的清洗技术,设计了含水活性清洗液,结合超高频超声作用共同去除KDP表面残留。光学显微镜和白光干涉仪分析表明,该技术较好地去除了表面残留,并且晶体表面粗糙度有所降低。拉曼光谱和激光干涉仪测试表明,清洗前后KDP表面化学结构和面形精度一致。该研究获得了较为满意的结果,说明该方法是一种有应用前景的KDP超精密清洗方法。
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出版历程
  • 收稿日期:  2018-02-05
  • 修回日期:  2018-05-03
  • 刊出日期:  2018-06-25

KDP晶体表面残留磁流变抛光液清洗技术研究

doi: 10.3788/IRLA201847.S120006
    作者简介:

    李晓媛(1987-),女,工程师,硕士,主要从事光学元件超精密加工及后处理方面的研究。Email:lxy20056482@126.com

基金项目:

国家自然科学基金(51575501,51202228);科学挑战专题(JCKY2016212A506-0503);中国工程物理研究院发展基金(2015B0203030)

  • 中图分类号: TH161

摘要: 磷酸二氢钾(KDP)晶体是一种非常优良的非线性光学晶体材料,在强激光系统中有着重要应用。但其理化性质特殊,加工高表面质量的元件难度很大。目前研究认为磁流变抛光技术能够获得高精度的KDP晶体表面,但是该加工过程带入的表面残留如不清除,会大大降低元件的性能。提出了一种针对磁流变抛光后续的KDP的清洗技术,设计了含水活性清洗液,结合超高频超声作用共同去除KDP表面残留。光学显微镜和白光干涉仪分析表明,该技术较好地去除了表面残留,并且晶体表面粗糙度有所降低。拉曼光谱和激光干涉仪测试表明,清洗前后KDP表面化学结构和面形精度一致。该研究获得了较为满意的结果,说明该方法是一种有应用前景的KDP超精密清洗方法。

English Abstract

参考文献 (15)

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