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基于包-全法的红外滤光片光学参数测量方法

李凯朋 王济洲 王多书 王云飞 董茂进

李凯朋, 王济洲, 王多书, 王云飞, 董茂进. 基于包-全法的红外滤光片光学参数测量方法[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(9): 913004-0913004(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0913004
引用本文: 李凯朋, 王济洲, 王多书, 王云飞, 董茂进. 基于包-全法的红外滤光片光学参数测量方法[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(9): 913004-0913004(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0913004
Li Kaipeng, Wang Jizhou, Wang Duoshu, Wang Yunfei, Dong Maojin. Optical parameters measurement of infrared filter based on envelope-full spectral fitting inversion method[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(9): 913004-0913004(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0913004
Citation: Li Kaipeng, Wang Jizhou, Wang Duoshu, Wang Yunfei, Dong Maojin. Optical parameters measurement of infrared filter based on envelope-full spectral fitting inversion method[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(9): 913004-0913004(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0913004

基于包-全法的红外滤光片光学参数测量方法

doi: 10.3788/IRLA201948.0913004
基金项目: 

无锡市科技发展基金(CGE02G1622)

详细信息
    作者简介:

    李凯朋(1988-),工程师,硕士,主要从事光学薄膜技术等方面的研究。Email:kaipeng132@163.com

  • 中图分类号: O484

Optical parameters measurement of infrared filter based on envelope-full spectral fitting inversion method

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出版历程
  • 收稿日期:  2019-04-05
  • 修回日期:  2019-05-15
  • 刊出日期:  2019-09-25

基于包-全法的红外滤光片光学参数测量方法

doi: 10.3788/IRLA201948.0913004
    作者简介:

    李凯朋(1988-),工程师,硕士,主要从事光学薄膜技术等方面的研究。Email:kaipeng132@163.com

基金项目:

无锡市科技发展基金(CGE02G1622)

  • 中图分类号: O484

摘要: 为了研究准确性更高的复杂多层膜光学参数测量方法,测量实际镀制红外带通滤光片的光学参数,对红外滤光片研制过程的设计优化与工艺的改进具有重要的指导作用。首先,在研究传统薄膜光学参数光谱测量方法的基础上,提出了包-全法,并研究了该方法的基本思想、物理模型以及优化算法;其次,设计制备了2 000~8 000 nm谱段内膜料单层膜和高透射率、宽截止中波带通红外滤光片,通过对比测量单层膜光学参数反演计算光谱与实测光谱的差异,验证了包-全法测量膜料单层膜光学参数的准确度及有效性,依据测量结果确定了膜料色散关系,甄别了膜层工艺的优劣;最后,采用包-全法与全光谱拟合反演法对红外滤光片的光学参数作了对比测量验证。结果证明:该方法能够准确测量红外滤光片的光学参数,测量结果可用于指导修正设计与工艺之间的匹配性,进而研制了性能更好的红外滤光片。

English Abstract

参考文献 (8)

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