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衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化

刘志辉 石振东 杨欢 李国俊 方亮 周崇喜

刘志辉, 石振东, 杨欢, 李国俊, 方亮, 周崇喜. 衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(7): 2092-2096.
引用本文: 刘志辉, 石振东, 杨欢, 李国俊, 方亮, 周崇喜. 衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(7): 2092-2096.
Liu Zhihui, Shi Zhendong, Yang Huan, Li Guojun, Fang Liang, Zhou Chongxi. Homogenization of semiconductor laser using diffractive micro-lens array[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(7): 2092-2096.
Citation: Liu Zhihui, Shi Zhendong, Yang Huan, Li Guojun, Fang Liang, Zhou Chongxi. Homogenization of semiconductor laser using diffractive micro-lens array[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(7): 2092-2096.

衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化

基金项目: 

中国科学院开放课题(JTJG201206)

详细信息
    作者简介:

    刘志辉(1988-),男,硕士生,主要从事激光光束整形方面的研究。Email:lzhdear@126.com

  • 中图分类号: TN245

Homogenization of semiconductor laser using diffractive micro-lens array

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出版历程
  • 收稿日期:  2013-11-07
  • 修回日期:  2013-12-12
  • 刊出日期:  2014-07-25

衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化

    作者简介:

    刘志辉(1988-),男,硕士生,主要从事激光光束整形方面的研究。Email:lzhdear@126.com

基金项目:

中国科学院开放课题(JTJG201206)

  • 中图分类号: TN245

摘要: 提出了一种用衍射微透镜阵列对半导体激光光束进行匀化的方法,解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论,设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列。采用菲涅耳衍射公式,推导了半导体激光从输入面到输出面的光场计算公式。数值模拟了成像型微透镜阵列匀化系统,并研究了微透镜口径及相位台阶数对焦斑均匀性的影响。结果表明:当衍射微透镜的口径D=0.27 mm、相位台阶数L=16 时,可获得不均匀性约为5%、系统能量可利用率达97%的均匀焦斑。

English Abstract

参考文献 (17)

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