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子孔径拼接检测光学平面反射镜技术

闫公敬,  张宪忠,  李柱

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闫公敬, 张宪忠, 李柱. 子孔径拼接检测光学平面反射镜技术[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(7): 2180-2184.
引用本文: 闫公敬, 张宪忠, 李柱. 子孔径拼接检测光学平面反射镜技术[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(7): 2180-2184.
shu
Yan Gongjing, Zhang Xianzhong, Li Zhu. Technology of sub-aperture stitching testing optical flat mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(7): 2180-2184.
Citation: Yan Gongjing, Zhang Xianzhong, Li Zhu. Technology of sub-aperture stitching testing optical flat mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(7): 2180-2184.
shu

子孔径拼接检测光学平面反射镜技术

  • 1.

    齐齐哈尔大学应用技术学院,黑龙江齐齐哈尔 161000;

  • 2.

    中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北邯郸 056027

基金项目: 

国家自然科学基金（61036015）

详细信息
    作者简介:

    闫公敬（1964-），男，副教授，主要从事光学检测方面的研究工作。Email：yan_gong_jing@163.com

  • 中图分类号: O439;O436.1

Technology of sub-aperture stitching testing optical flat mirror

  • 1.

    College of Applied Technology,Qiqihar University,Qiqihar 161000,China;

  • 2.

    The 718th Research Institute,China Shipbuilding Industry Corporation,Handan 056027,China

  • 摘要: 干涉检测作为高精度光学面形加工的基础，其检测精度决定了加工精度。为了解决大口径光学平面反射镜检测问题，基于子孔径拼接算法，提出了一种拼接因子用于重叠区域取值，同时利用 100mm口径干涉仪对120mm口径平面反射镜完成拼接检验，并将拼接检测结果与利用150mm 口径干涉仪直接检测结果进行了对比分析，实验结果表明，拼接结果无拼痕，拼接检测结果与全口径测量结果PV 与RMS 的相对偏差分别为7.25%与7.14%，检测面形是一致的，由此验证了拼接检测的可靠性和准确性。
    Abstract: As the fundamental factor of high precision optical producing, the testing accuracy of interferometry is the key of producing accuracy. In order to solve the problem of large optical flat mirror testing, a kind of stitching factor was provided for overlapped area values, based on the stitching algorithm. At the meantime, the stitching measurement was completed for a 120 mm flat mirror with a 100mm interferometer. Comparing the stitching result with the full aperture testing result with a 150mm interferometer, it turns out that the stitching result is smooth and the relative deviation of PV and RMS between the stitching result and the full aperture testing result is 7.25% and 7.14% respectively. The testing result is consistent, verifying the reliability and accuracy of the stitching testing.
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    [20] 闫力松, 王孝坤, 罗霄, 郑立功, 张学军.  采用三角剖分算法的子孔径拼接检测技术 . 红外与激光工程, 2013, 42(7): 1793-1797.
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-11-14
  • 修回日期:  2013-12-17
  • 刊出日期:  2014-07-25

子孔径拼接检测光学平面反射镜技术

  • 1. 齐齐哈尔大学应用技术学院,黑龙江齐齐哈尔 161000;
  • 2. 中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北邯郸 056027
    • 作者简介:

    闫公敬（1964-），男，副教授，主要从事光学检测方面的研究工作。Email：yan_gong_jing@163.com

  • 收稿日期: 2013-11-14
  • 修回日期: 2013-12-17
  • 刊出日期: 2014-07-25
基金项目:

国家自然科学基金（61036015）

  • 中图分类号: O439;O436.1

摘要: 干涉检测作为高精度光学面形加工的基础，其检测精度决定了加工精度。为了解决大口径光学平面反射镜检测问题，基于子孔径拼接算法，提出了一种拼接因子用于重叠区域取值，同时利用 100mm口径干涉仪对120mm口径平面反射镜完成拼接检验，并将拼接检测结果与利用150mm 口径干涉仪直接检测结果进行了对比分析，实验结果表明，拼接结果无拼痕，拼接检测结果与全口径测量结果PV 与RMS 的相对偏差分别为7.25%与7.14%，检测面形是一致的，由此验证了拼接检测的可靠性和准确性。

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