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利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形

王孝坤

王孝坤. 利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3410-3415.
引用本文: 王孝坤. 利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3410-3415.
Wang Xiaokun. Measurement of large aspheric surface by stitching and coordinate measuring machine[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(10): 3410-3415.
Citation: Wang Xiaokun. Measurement of large aspheric surface by stitching and coordinate measuring machine[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(10): 3410-3415.

利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形

基金项目: 

国家863计划(O8663NJ090);国家973计划(2011CB0132005);国家自然科学基金重点项目(61036015)

详细信息
    作者简介:

    王孝坤(1980-),男,副研究员,硕士生导师,博士,主要从事光学超精加工和检测技术方面的研究。Email:jimwxk@sohu.com

  • 中图分类号: O439;O436.1

Measurement of large aspheric surface by stitching and coordinate measuring machine

  • 摘要: 为了利用三坐标测量仪实现对大口径非球面面形的检测,提出了大口径非球面面形三坐标拼接测试方法。对该方法的基本原理与具体的实现流程进行了分析和研究,并基于初级像差理论和最小二乘拟合建立了三坐标拼接检验大口径非球面综合优化数学模型。结合实例,对一口径为1 200 mm434 mm的长条形SiC离轴非球面反射镜进行了两个子孔径的三坐标拼接检测,并将拼接测试结果与非球面全口径轮廓检测结果进行了比对,其PV值和RMS值的偏差分别仅为0.073 m和0.042 m;两种方法面形残差的PV值和RMS值分别为0.325 m和0.055 m。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-02-17
  • 修回日期:  2014-03-18
  • 刊出日期:  2014-10-25

利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形

    作者简介:

    王孝坤(1980-),男,副研究员,硕士生导师,博士,主要从事光学超精加工和检测技术方面的研究。Email:jimwxk@sohu.com

基金项目:

国家863计划(O8663NJ090);国家973计划(2011CB0132005);国家自然科学基金重点项目(61036015)

  • 中图分类号: O439;O436.1

摘要: 为了利用三坐标测量仪实现对大口径非球面面形的检测,提出了大口径非球面面形三坐标拼接测试方法。对该方法的基本原理与具体的实现流程进行了分析和研究,并基于初级像差理论和最小二乘拟合建立了三坐标拼接检验大口径非球面综合优化数学模型。结合实例,对一口径为1 200 mm434 mm的长条形SiC离轴非球面反射镜进行了两个子孔径的三坐标拼接检测,并将拼接测试结果与非球面全口径轮廓检测结果进行了比对,其PV值和RMS值的偏差分别仅为0.073 m和0.042 m;两种方法面形残差的PV值和RMS值分别为0.325 m和0.055 m。

English Abstract

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