锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响

葛建平; 沈为民; 刘全; 陈明辉

锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响

1.
苏州大学现代光学技术研究所,江苏苏州215006;
2.
苏州大学信息光学工程研究所,江苏苏州215006

基金项目:

国防科工局专项课题

详细信息

作者简介:
葛建平（1986- ），男，硕士生，主要从事光栅衍射效率方面的研究。Email：sd.jianping.ge@163.com；沈为民（1963- ），男，研究员，博士生导师，博士，主要从事光学仪器与光学设计及空间光学方面的研究。Email：swm@suda.edu.cn

葛建平（1986- ），男，硕士生，主要从事光栅衍射效率方面的研究。Email：sd.jianping.ge@163.com；沈为民（1963- ），男，研究员，博士生导师，博士，主要从事光学仪器与光学设计及空间光学方面的研究。Email：swm@suda.edu.cn

中图分类号: O43

Effect of fabrication errors on the diffraction efficiency of sawtooth blazed grating

1.
Modern Optical Technology Institute of Soochow University,Suzhou 215006,China;
2.
Information Optics Engineering Institute of Soochow University,Suzhou 215006,China

摘要: 与矩形槽和正弦槽光栅相比，锯齿槽光栅具有高的衍射效率，可采用全息离子束刻蚀和单点金刚石车削两种方法制造。首先，介绍了这两种方法的制造误差。然后，分析了这些制造误差对用于可见近红外和长波红外成像光谱仪的光栅衍射效率的影响，指出闪耀角误差、槽顶角误差和刻刀圆弧半径是影响锯齿槽光栅衍射效率的关键因素。为制作高质量成像光谱仪用光栅奠定了理论基础和指导。
- 锯齿槽光栅 /
- 全息离子束刻蚀 /
- 单点金刚石车削 /
- 误差 /
- 衍射效率
Abstract: Compared with rectangular and sinus oidal grating, sawtooth grating has higher diffraction efficiency. It can be fabricated by holographic ion-beam etching and single point diamond turning (SPDT) technology. First, the errors in fabrication process with the two methods were introduced. Secondly, effect of these fabrication errors on the diffraction efficiency of sawtooth grating used in NIR and long-wave infrared imaging spectrometer was analyzed. It is indicated that blaze angle error, vertex angle error and burin radius are the main factors in diffraction efficiency. This provides a theoretical foundation and instruction for fabricating high-quality grating used in imaging spectrometer.
- sawtooth grating /
- holographic ion-beam etching /
- SPDT /
- error /
- diffraction efficiency

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锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响

1. 苏州大学现代光学技术研究所,江苏苏州215006;

2. 苏州大学信息光学工程研究所,江苏苏州215006

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1. Modern Optical Technology Institute of Soochow University,Suzhou 215006,China;

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