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微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件

李军琪 张云龙 苏军 汪志斌 郭小岗 宗文俊 张磊

李军琪, 张云龙, 苏军, 汪志斌, 郭小岗, 宗文俊, 张磊. 微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(11): 3053-3058.
引用本文: 李军琪, 张云龙, 苏军, 汪志斌, 郭小岗, 宗文俊, 张磊. 微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(11): 3053-3058.
Li Junqi, Zhang Yunlong, Su Jun, Wang Zhibin, Guo Xiaogang, Zong Wenjun, Zhang Lei. Turning of DOE Ge single crystal with micro-circle diamond tool[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(11): 3053-3058.
Citation: Li Junqi, Zhang Yunlong, Su Jun, Wang Zhibin, Guo Xiaogang, Zong Wenjun, Zhang Lei. Turning of DOE Ge single crystal with micro-circle diamond tool[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(11): 3053-3058.

微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件

基金项目: 

国防基础科研计划(A0920110019)

详细信息
    作者简介:

    李军琪(1971-),男,高级工程师,主要从事金刚石工艺及加工研究工作。Email:lijunqi90@163.com

  • 中图分类号: TN214

Turning of DOE Ge single crystal with micro-circle diamond tool

  • 摘要: 锗单晶衍射光学元件具有特有的色散和温度特性,在红外光学领域,具有广阔的应用前景。衍射元件必须同时满足光学镜面及相位转变点的要求,采用微圆弧金刚石单点车削是解决这一途径的主要方法之一,但采用微圆弧刀具加工时,要求同时满足粗糙度和相位突变点是加工衍射元件的难点,因此,研究微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件具有重大意义。基于DEFORM 3D切削仿真软件,对金刚石刀具车削锗单晶材料进行了仿真分析,分析了切削参数、刀具参数对锗单晶材料粗糙度的影响,并依据仿真试验结果优选切削参数以及刀具参数进行试验,R0.1mm微圆弧刀具车削单晶材料粗糙度达到4 nm。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-03-10
  • 修回日期:  2013-04-28
  • 刊出日期:  2013-11-25

微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件

    作者简介:

    李军琪(1971-),男,高级工程师,主要从事金刚石工艺及加工研究工作。Email:lijunqi90@163.com

基金项目:

国防基础科研计划(A0920110019)

  • 中图分类号: TN214

摘要: 锗单晶衍射光学元件具有特有的色散和温度特性,在红外光学领域,具有广阔的应用前景。衍射元件必须同时满足光学镜面及相位转变点的要求,采用微圆弧金刚石单点车削是解决这一途径的主要方法之一,但采用微圆弧刀具加工时,要求同时满足粗糙度和相位突变点是加工衍射元件的难点,因此,研究微圆弧金刚石刀具车削锗单晶衍射元件具有重大意义。基于DEFORM 3D切削仿真软件,对金刚石刀具车削锗单晶材料进行了仿真分析,分析了切削参数、刀具参数对锗单晶材料粗糙度的影响,并依据仿真试验结果优选切削参数以及刀具参数进行试验,R0.1mm微圆弧刀具车削单晶材料粗糙度达到4 nm。

English Abstract

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