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大口径凸非球面反射镜子孔径拼接检测

王孝坤

王孝坤. 大口径凸非球面反射镜子孔径拼接检测[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(3): 716-722.
引用本文: 王孝坤. 大口径凸非球面反射镜子孔径拼接检测[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(3): 716-722.
Wang Xiaokun. Test on large convex aspherical mirror by subaperture stitching interferometry[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(3): 716-722.
Citation: Wang Xiaokun. Test on large convex aspherical mirror by subaperture stitching interferometry[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(3): 716-722.

大口径凸非球面反射镜子孔径拼接检测

基金项目: 

863 计划(O8663NJ090);国家自然科学基金(61036015)

详细信息
    作者简介:

    王孝坤(1980- ),男,副研究员,硕士生导师,博士,主要从事光学超精加工和检测技术方面的研究。Email:jimwxk@sohu.com

  • 中图分类号: O439;O436.1

Test on large convex aspherical mirror by subaperture stitching interferometry

  • 摘要: 为了获得大口径凸非球面反射镜全口径的面形,提出了利用子孔径拼接检测大口径凸非球面的新方法。利用干涉仪标准球面波前依次干涉测定大口径镜面上各个区域的相位分布,通过子孔径拼接算法即可求解得到镜面全口径面形信息。对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究,建立了大口径拼接检测算法的数学模型,设计并研制了大口径反射镜拼接检验装置。结合实例对一口径为260 mm 的碳化硅凸非球面反射镜进行了9 个子孔径的拼接干涉测量,并将拼接检测结果与全口径面形测量结果进行对比,两种方法测量面形PV 值和RMS 值的偏差分别为0.043和0.021(=632.8 nm)。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-07-10
  • 修回日期:  2012-08-20
  • 刊出日期:  2013-03-25

大口径凸非球面反射镜子孔径拼接检测

    作者简介:

    王孝坤(1980- ),男,副研究员,硕士生导师,博士,主要从事光学超精加工和检测技术方面的研究。Email:jimwxk@sohu.com

基金项目:

863 计划(O8663NJ090);国家自然科学基金(61036015)

  • 中图分类号: O439;O436.1

摘要: 为了获得大口径凸非球面反射镜全口径的面形,提出了利用子孔径拼接检测大口径凸非球面的新方法。利用干涉仪标准球面波前依次干涉测定大口径镜面上各个区域的相位分布,通过子孔径拼接算法即可求解得到镜面全口径面形信息。对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究,建立了大口径拼接检测算法的数学模型,设计并研制了大口径反射镜拼接检验装置。结合实例对一口径为260 mm 的碳化硅凸非球面反射镜进行了9 个子孔径的拼接干涉测量,并将拼接检测结果与全口径面形测量结果进行对比,两种方法测量面形PV 值和RMS 值的偏差分别为0.043和0.021(=632.8 nm)。

English Abstract

参考文献 (25)

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