刘晓旻, 王俊俏, 马凤英, 吴宇, 梁二军, 杨国光. 太赫兹辐射的多重反射光杠杆探测方法[J]. 红外与激光工程, 2012, 41(8): 2058-2062.
引用本文: 刘晓旻, 王俊俏, 马凤英, 吴宇, 梁二军, 杨国光. 太赫兹辐射的多重反射光杠杆探测方法[J]. 红外与激光工程, 2012, 41(8): 2058-2062.
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Liu Xiaomin, Wang Junqiao, Ma Fengying, Wu Yu, Liang Erjun, Yang Guoguang. Terahertz detecting method using multi-reflection optical lever[J]. Infrared and Laser Engineering, 2012, 41(8): 2058-2062.
Citation: Liu Xiaomin, Wang Junqiao, Ma Fengying, Wu Yu, Liang Erjun, Yang Guoguang. Terahertz detecting method using multi-reflection optical lever[J]. Infrared and Laser Engineering, 2012, 41(8): 2058-2062.
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太赫兹辐射的多重反射光杠杆探测方法

Terahertz detecting method using multi-reflection optical lever

    摘要
  • 摘要: 提出了一种新型的微光学太赫兹辐射探测方法，以双材料微悬臂梁结构热探测方法为基础， 通过多重反射光杠杆系统测量微结构的纵向微位移，从而实现太赫兹辐射量的测量。多重反射光杠杆 探测方法微位移理论分辨率小于1 nm。搭建了微位移测量系统，实验结果表明，测试系统理论分辨率 小于4 nm，实际分辨率优于10 nm。给出了基于该方法的太赫兹探测器设计方案和参数。因其具有良 好的抗空气扰动和光束串扰能力，可以在常温下工作，适用于非制冷、实时、低成本、微小型化的太赫 兹探测器和阵列式成像设备。

     

    Abstract: Anewmicro-opticalmethodforTerahertzradiationmeasurementwaspresented,whichwas basedonopticalleverandthermalradiationdetection.Abi-materialmicrocantileverwasusedtogenerate micro-deformationcausedbyTerahertzradiantthermaleffect,andthemicro-deformationwasmeasuredby amultiplereflectionopticallevercomposedofapairofplanemirrors.ThenradiationpowerofTerahertz waveswereobtained.Micro-displacementtheoreticalresolutionofthismultiplereflectionopticallever methodcouldbelessthan1nmandameasuringsystemwassetuptoverifyit.Experimentsshowthat theoreticalresolutionofthistestsystemislessthan4nmanditsactualresolutionwaslessthan10nm. DesignsandparametersofaTerahertzdetectorbasedonthismethodweregiven.Thisapproachhadmany advantagessuchasanti-airturbulence,anti-beamcross-talk,andworkingatroomtemperature.Sothisnew methodwassuitableforrealizingminiaturizedTerahertzdetectorswiththefeaturesofuncooled,real-time, low-cost,anditwasalsoappropriateformanufacturingarraydetectorsforimagingdetection.

     

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