640×512偏振长波量子阱红外焦平面探测器研制

周旭昌; 李东升; 木迎春; 铁筱滢; 王晓娟; 陈卫业

doi:10.3788/IRLA201746.0104004

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640×512偏振长波量子阱红外焦平面探测器研制

周旭昌, 李东升, 木迎春, 铁筱滢, 王晓娟, 陈卫业

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周旭昌, 李东升, 木迎春, 铁筱滢, 王晓娟, 陈卫业. 640×512偏振长波量子阱红外焦平面探测器研制[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(1): 104004-0104004(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0104004

引用本文:

Zhou Xuchang, Li Dongsheng, Mu Yingchun, Tie Xiaoying, Wang Xiaojuan, Chen Weiye. Study on 640×512 polarimetric LWIR QWIP FPA[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(1): 104004-0104004(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0104004

Citation:

Zhou Xuchang, Li Dongsheng, Mu Yingchun, Tie Xiaoying, Wang Xiaojuan, Chen Weiye. Study on 640×512 polarimetric LWIR QWIP FPA[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(1): 104004-0104004(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0104004

640×512偏振长波量子阱红外焦平面探测器研制

doi: 10.3788/IRLA201746.0104004

1.
昆明物理研究所,云南昆明 650223

详细信息

作者简介:
周旭昌(1976-),男,研究员级高级工程师,博士,主要从事III-V族红外探测器材料和器件方面的研究。Email:xchzhou@163.com

通讯作者: 李东升(1974-),男,研究员级高级工程师,硕士,主要从事红外探测器方面的研究。Email:li_d_s@163.com

中图分类号: TN362

Study on 640×512 polarimetric LWIR QWIP FPA

1.
Kunming Institute of Physics,Kunming 650223,China

摘要: 介绍了大面阵偏振长波量子阱红外焦平面探测器组件的研制进展。在640512规模20 m中心距面阵上，偏振焦平面采用了22子单元设计，子单元中每个像元分别刻蚀0、90、45以及135方向的一维线性光栅，来获得入射光不同偏振角度的信息。突破了长波量子阱材料外延和器件制备等关键技术，制备出面阵探测器芯片，实现了偏振长波红外探测的单片集成，配上杜瓦和制冷机，研制出噪声等效温差优于30 mK的长波偏振640512量子阱探测器组件。
- 偏振长波红外探测 /
- 大面阵量子阱焦平面组件 /
- 单片集成
Abstract: The development of the large format polarimetric LWIR quantum well infrared FPA. The 20 m pitch, 640512 array was divided into 22 unit cells. Each pixel in the unit cell was etched a 1D lamellar grating on it, with four different orientations of 0, 90, 45 and 135, to get the polarimetric information of the incidence irradiation. Based on the QWIP FPA key technologies such as quantum well material epitaxy and chip preparation, the single-chip integration with LWIR and the polarization detection function was realized on the QWIP FPA. The 640512 polarimetric LWIR QWIP FPA assembly with noise equivalent temperature difference (NETD) better than 30 mK was obtained with the integration the FPA chip with the Dewar and the sterling cooler.
- polarimetric LWIR detection /
- large format QWIP FPA assembly /
- single-chip integration

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640×512偏振长波量子阱红外焦平面探测器研制

doi: 10.3788/IRLA201746.0104004

1. 昆明物理研究所,云南昆明 650223

作者简介:
周旭昌(1976-),男,研究员级高级工程师,博士,主要从事III-V族红外探测器材料和器件方面的研究。Email:xchzhou@163.com

通讯作者: 李东升(1974-),男,研究员级高级工程师,硕士,主要从事红外探测器方面的研究。Email:li_d_s@163.com

收稿日期: 2016-05-11
修回日期: 2016-06-21
刊出日期: 2017-01-25

中图分类号: TN362

关键词:

摘要: 介绍了大面阵偏振长波量子阱红外焦平面探测器组件的研制进展。在640512规模20 m中心距面阵上，偏振焦平面采用了22子单元设计，子单元中每个像元分别刻蚀0、90、45以及135方向的一维线性光栅，来获得入射光不同偏振角度的信息。突破了长波量子阱材料外延和器件制备等关键技术，制备出面阵探测器芯片，实现了偏振长波红外探测的单片集成，配上杜瓦和制冷机，研制出噪声等效温差优于30 mK的长波偏振640512量子阱探测器组件。